Occasion AIWA AU-501CO #9261216 à vendre en France

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AIWA AU-501CO
Vendu
ID: 9261216
Style Vintage: 2012
Ultrasonic cleaning system 2012 vintage.
AIWA AU-501CO est un équipement polyvalent et performant de traitement de plaquettes conçu pour répondre aux exigences de la fabrication avancée de dispositifs semi-conducteurs. Utilisant une conception modulaire unique, AU-501CO est capable de réaliser un large éventail de processus, y compris la gravure, la pulvérisation, le dépôt, l'oxydation, la photolithographie et le décapage photorésist. Le système peut également être utilisé pour une série d'autres processus auxiliaires tels que la correction des effets de proximité (CEP), l'isolement des bords (EI), le confinement des interférences de particules (PIC) et la prévention de la diffusion (DP). AIWA AU-501CO utilise un moteur de coeur de haute précision qui peut traiter une grande variété de tailles de plaquettes avec une taille minimale de plaquettes de 4 pouces. Le moteur à coeur de haute précision permet des mouvements de plaquette à plaquette précis avec une répétabilité de ± 2um et une précision de rotation de ± 1 °. L'unité offre également une gamme complète de paramètres de processus programmables, permettant un fonctionnement entièrement automatisé de la machine. AU-501CO dispose d'une suite de systèmes de contrôle avancés qui offrent un contrôle et une surveillance avancés des processus. L'outil de contrôle et de surveillance automatisés des processus (APCMS), qui offre un certain nombre de fonctionnalités, y compris le diagnostic de charge des plaquettes, les paramètres de séquence des processus, les alarmes et la surveillance, et la détection et l'isolement des défauts. L'actif dispose également d'un puissant modèle d'acquisition de données et d'analyse de processus qui peut stocker jusqu'à 4 Go de données d'appareil. AIWA AU-501CO offre une gamme de fonctionnalités conviviales, y compris une interface graphique qui permet la confirmation visuelle des données de séquence de processus. Cet équipement comprend également une fonction automatique Stop-at-Error, permettant une récupération rapide en cas de défaillance du processus. En outre, une fonction d'alarme de remplacement de recette est disponible, permettant aux utilisateurs de remplacer facilement des composants sans avoir besoin de réinitialiser l'ensemble du système. Globalement, AU-501CO est une unité de traitement de dispositifs semi-conducteurs avancés et fiables qui est capable de répondre aux exigences les plus exigeantes de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs avancés. La machine utilise une conception modulaire qui permet un contrôle et une surveillance des processus efficaces et précis, tandis qu'une large gamme de fonctionnalités conviviales rendent l'outil facile à utiliser même pour les utilisateurs non experts.
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