Occasion AQUEOUS TECH AQ 201SC #293590741 à vendre en France

La technologie AQ 201SC AQUA est un autre équipement de traitement des plaquettes de pointe conçu pour la production à grande échelle de dispositifs semi-conducteurs complexes, tels que les dispositifs System-on-Chip (SoC), les dispositifs logiques et les dispositifs hétérogènes. AQ 201SC est une unité monobloc entièrement automatisée capable d'exécuter une gamme de processus pour une variété de tailles de plaquettes. Il est également capable de recevoir différents types de substrat, dont l'Arsenide de Gallium (GaAs) et le Silicium sur Isolant (SOI). Les composants de base de la machine sont un module de traitement humide, un module de traitement à sec, un module de salle blanche et une zone de chargement. Le module de traitement par voie humide est capable d'effectuer diverses opérations, dont le dégazage, l'oxydation et la gravure, la diffusion, le nettoyage par voie humide et le nettoyage chimique. Le module de traitement à sec est capable d'effectuer un polissage mécanique chimique (CMP) et d'autres procédés chimiques secs. Le module de salle blanche à 4 étages utilise la filtration HEPA pour maintenir les normes de propreté pour la production et dispose également d'un outil avancé de gestion des recettes chimiques pour le traitement humide et sec. Cela permet une optimisation rapide des recettes avec une intervention minimale de l'opérateur de processus. De plus, un moyen de chargement automatisé permet une manutention sûre et précise du matériel. La technologie AQ 201SC d'AQUA comprend des outils avancés de visualisation et d'acquisition de données, tels que l'analyseur de processus et le moniteur de modèle. Ces outils permettent à l'utilisateur de suivre et de surveiller les performances de l'équipement en temps réel, ce qui permet une optimisation immédiate des processus et un dépannage. Pour répondre aux différents besoins de traitement pour une large gamme de tailles de plaquettes, le système comprend divers accessoires, tels qu'un cadre de processus échangeable, mandrin, et une gamme de chambres de processus. En outre, AQ 201SC peut être personnalisé pour être intégré à d'autres systèmes de production tels que les systèmes de photolithographie, les systèmes CMP et les systèmes RTP. Enfin, la technologie AQ 201SC AQUA est économe en énergie et répond aux normes industrielles et aux réglementations environnementales les plus élevées. Cela en fait une solution parfaite pour la production à haut volume et les besoins exigeants des applications semi-conductrices modernes.