Occasion AQUEOUS TECH AQ 300 #9165985 à vendre en France

La technologie AQ 300 AQUA est un autre équipement avancé de traitement des plaquettes spécialement conçu pour les chercheurs et les ingénieurs de l'industrie des semi-conducteurs. Le système est conçu pour des processus thermiques in situ et rapides dans un environnement fermé. L'AQ 300 offre une solution polyvalente pour divers procédés de dépôt, le nettoyage des plaquettes et le revêtement de résistance. La technologie AQ 300 aqueuse est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre et offre une température de chambre maximale de 1100 ° C Pour les applications de nettoyage, l'AQ 300 dispose d'une unité de mélange à 6 gaz qui peut fournir de l'azote, de l'oxygène, de l'argon, de l'hydrogène, de l'hélium et du xénon. Pour les applications de dépôt, la machine comprend un matériel polyvalent pour la croissance de divers matériaux tels que le carbone amorphe, le niobium, le nitrure de titane, le nitrure d'aluminium et le nitrure de silicium. La technologie AQ 300 AQUA est compatible avec plusieurs plates-formes logicielles, y compris MACThermalX, MACThermalCentreManager, MACThermalTR et MACThermalSC pour la précision de la température, de la vitesse et d'autres contrôles de processus. Le dispositif dispose de trois chambres de processus indépendantes ; une chambre supérieure pour le dépôt, une chambre inférieure pour le dégazage et le nettoyage, et une chambre d'échantillonnage indépendante pour le hucking des plaquettes. Chaque chambre est équipée d'un clapet à quartz de haute précision et d'un capteur de pression pour surveiller les pressions de 10 ^ -2 à 10 ^ -5 torr. Pour améliorer l'automatisation des installations et des processus, l'AQ 300 s'intègre aux contrôleurs de processus numériques, aux contrôleurs d'automatisation et aux systèmes de sécurité. Il dispose d'une large gamme de capteurs embarqués polyvalents et de systèmes de contrôle pour surveiller les paramètres du processus tels que la température, la pression, la teneur en gaz et le temps. En outre, il offre un outil intégré TDLAS pour maintenir l'assurance qualité. La technologie AQ 300 AQUA est un actif complet polyvalent conçu spécifiquement pour des procédés sophistiqués dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est conçu spécialement pour les chercheurs et les ingénieurs de l'industrie des semi-conducteurs et utilise les dernières technologies pour le traitement thermique rapide et la précision du contrôle des processus. Le modèle haut de gamme offre des technologies de pointe standard de l'industrie pour améliorer l'automatisation et la sécurité.