Occasion AQUEOUS TECH AQ 400CL #9032311 à vendre en France
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ID: 9032311
Style Vintage: 1997
Batch cleaner
208 V, 1 phase, 60 Hz, 50 A
Missing controller
1997 vintage.
AQ 400CL AQUEUX TECH est un système de traitement des plaquettes de nouvelle génération conçu pour le nettoyage et le séchage automatisé des plaquettes à haut débit. Il est alimenté par la plateforme exclusive de Cloud-Ready, qui utilise des SOP en nuage, l'acquisition de données et la surveillance et la communication à distance. Avec une conception modulaire avec quatre modules de traitement, la technologie AQ 400/CL AQUA est idéale pour la production en grand volume d'une large gamme de substrats, du semi-conducteur ordinaire au MEMS, MEMS-A, microfluidique, et de nombreuses autres applications. La conception modulaire de l'AQ 400CL permet une polyvalence, une compatibilité et une flexibilité maximales. Les quatre modules intégrés - module de processus, module propre, module de purge d'air et module de contrôle de chambre - offrent une gamme de capacités. Le module Process offre une préparation avancée des plaquettes, le traitement humide et le transfert de matières, tandis que le module Clean assure le nettoyage, le séchage et l'enlèvement des dépôts non volatils. Le module de purge d'air fournit un support de purge, de rinçage et de cycle d'évent, ainsi qu'un joint étanche à l'air, tandis que le module de contrôle de chambre commande des chambres partielles. La plate-forme Cloud Ready d'AQ 400/CL aide les opérateurs à programmer à distance, à surveiller et à dépanner le matériel et les logiciels. Grâce à l'appariement répétitif des fonctions au processus, à la surveillance multi-emplacements et à l'exécution simultanée de différentes configurations et opérations logicielles, les utilisateurs peuvent collecter des données pour améliorer les opérations et gagner du temps de traitement jusqu'à 50 %. La plateforme offre également des SOP à distance, de la documentation et une suite complète de rapports diagnostiques. En plus de ses quatre modules de traitement, la technologie AQ 400CL AQUA offre une variété de fonctionnalités pour garantir une performance optimale. Il est doté d'une chambre d'augmentation chimique recouverte de PTFE pour le traitement par voie humide dans une grande variété de produits chimiques, ainsi que d'un système de déchargement de charge propre entièrement automatisé. Sa chambre in situ propre fonctionne comme un cycle auto-propre et aide à maintenir les processus dans des normes strictes de salle blanche. En outre, il est équipé d'un étalonnage automatisé des plaquettes pour un suivi et une manipulation précis et fiable des plaquettes. Dans l'ensemble, la technologie AQ 400/CL AQUA est le système ultime de nettoyage et de séchage des plaquettes à haut débit. Avec sa plate-forme Cloud-Ready et une variété de fonctionnalités et de fonctions, il permet aux opérateurs d'optimiser le processus et d'augmenter le débit pour le traitement des plaquettes.
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