Occasion AQUEOUS TECH ECO #9185902 à vendre en France

La technologie aqueuse ECO est un nouveau système révolutionnaire pour le traitement d'autres plaquettes. Cet équipement à haut débit et à faible empreinte utilise une technologie de traitement aquatique exclusive et est capable de traiter en plusieurs étapes tous types de plaquettes, y compris Si, GaAs, InP, SoI et FDSOI. Le système comprend quatre composants principaux, le réacteur de prétraitement à base de chlore, le réacteur de fluoration à base d'ozone, le réacteur d'oxydation à base de plasma et le réservoir de post-traitement à base d'acide. Le réacteur de prétraitement à base de chlore est utilisé pour éliminer les contaminants et l'oxyde natif des surfaces des plaquettes. Après prétraitement, des radicaux à base d'oxygène et d'hydrogène sont générés pour améliorer l'adhésion des étapes ultérieures du procédé. Le réacteur de fluoration à base d'ozone est ensuite utilisé pour obtenir un dépôt de haute qualité de films diélectriques sur les plaquettes. Le réacteur d'oxydation à base de plasma est utilisé pour affiner la qualité de surface de la plaquette avant son entrée dans la cuve de post-traitement à base acide. Le post-traitement à base d'acide est utilisé pour graver les films diélectriques. Le processus de gravure est soigneusement surveillé pour s'assurer que la surface de la plaquette est uniforme et exempte de défauts. Les paramètres du procédé permettent des gravures peu profondes et profondes. Après post-traitement, une couche de semence conductrice et une couche de passivation sont déposées sur la plaquette. Enfin, la plaquette est inspectée et la surface est vérifiée pour déceler tout dommage ou défaut. L'ECO est conçu pour garantir un impact minimal sur les déchets et l'environnement. Il utilise des solutions respectueuses de l'environnement pour les étapes de prétraitement, fluoration, oxydation et post-traitement. Divers fluides sont également collectés et réutilisés pour minimiser les déchets et assurer un traitement optimal des plaquettes lors du traitement. La technologie aqueuse ECO est un système fiable et rentable qui peut être utilisé dans diverses applications industrielles, y compris la microélectronique, la photonique et les dispositifs biomédicaux. Ses capacités de gravure à haut rapport d'aspect et sa faible empreinte sont particulièrement adaptées à l'emballage au niveau des plaquettes et à l'intégration MEMS/NEMS. Avec sa conception flexible et conviviale, ECO est un choix idéal pour les opérations de traitement des plaquettes.