Occasion ASTEX AX 7685 #293642868 à vendre en France

ASTEX AX 7685
ID: 293642868
6L Remote Plasma source (RPS).
ASTEX AX 7685 est un équipement de traitement de plaquettes de pointe conçu pour diverses applications de traitement de plaquettes telles que le nettoyage, le revêtement et la fabrication de semi-conducteurs. Le système peut accueillir des plaquettes jusqu'à 200 mm et est conçu pour fonctionner avec une variété de chambres de processus, y compris la gravure de plasma, le dépôt, l'oxydation et les systèmes d'exposition par voie humide. L'AX 7685 permet aux utilisateurs de traiter les plaquettes rapidement et efficacement tout en maintenant une précision et un contrôle excellents. L'unité est composée de quatre composants principaux : la machine de transport linéaire multi-zones (LTS), la chambre de gravure de plasma, la chambre d'inondation et la chambre de traitement. Le LTS est conçu pour transporter les plaquettes de manière sûre et fiable à travers l'outil, en éliminant tout risque de contamination croisée. La chambre de gravure du plasma profite des vitesses de gravure plus élevées associées au traitement à base de plasma pour améliorer l'homogénéité des gravures et réduire les bords des caractéristiques. La chambre d'inondation utilise une gamme de LED pour assurer une lithographie de processus cohérente sur la plaquette. Enfin, la chambre de procédé permet un contrôle de la température, de la pression et de la recette de procédé, offrant aux utilisateurs une flexibilité maximale pour le traitement des plaquettes. L'ASTEX AX 7685 offre des fonctionnalités innovantes pour garantir que les plaquettes sont traitées de façon cohérente et de la plus haute qualité. L'actif dispose d'une zone de processus utilisable de 800 cm2 avec une précision de ± 2,5µm, offrant aux utilisateurs la plus haute résolution et précision. De plus, le modèle est conçu pour réduire les effets de la contamination de l'environnement, comme les particules de poussière d'air, l'électricité statique et les vibrations pendant le traitement des plaquettes. En outre, afin d'assurer la plus grande sécurité et précision, l'équipement est également livré avec un système de surveillance complet pour suivre les données de processus et les alarmes de sécurité au niveau des plaquettes. L'AX 7685 est un système de traitement des plaquettes puissant et fiable conçu pour fonctionner dans des environnements de production à haut volume tout en conservant les plus hauts niveaux de précision et de précision. L'unité peut être adaptée aux exigences spécifiques de l'application de l'utilisateur, garantissant une flexibilité maximale et un rapport coût-efficacité. Grâce à sa capacité à traiter les plaquettes grandes et petites, ASTEX AX 7685 est un choix parfait pour ceux qui veulent augmenter leur capacité de traitement des plaquettes et améliorer leur qualité.
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