Occasion BRANSON 3510R-DTH #293627287 à vendre en France
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BRANSON 3510R-DTH est un équipement avancé de traitement de plaquettes chimiques humides conçu pour les applications de nettoyage micro-électronique. Ce système est idéal pour le broyage du dos, la gravure basse k et le décapage SiNx, le nettoyage des filets et des plaquettes, la préparation de la surface et la passivation des copeaux. Il dispose d'une fonction révolutionnaire DTH (DeepTrack Heating), qui utilise une technologie cyclonique brevetée pour nettoyer l'ensemble du substrat de bord à bord et de haut en bas avec une efficacité inégalée. 3510R-DTH est une unité évolutive avec deux chambres thermiques, deux chambres à vide et une machine de livraison chimique en boucle fermée. Les 2 chambres thermiques maintiennent chacune jusqu'à 60 plaquettes et peuvent supporter des températures allant jusqu'à 400 ° C Cela permet de traiter une grande variété de matériaux de substrat, y compris Si, GaAs, InP et SOI. L'outil est conçu pour un contrôle optimal du profil température-temps pour chaque plaquette pendant tout processus thermique. Les 2 chambres à vide ont une grande capacité de 400L, et peuvent atteindre une pression de < 10-8 torr. Ceci assure une effusion maximale de la chambre. L'actif de livraison chimique en boucle fermée est conçu pour contrôler complètement le produit chimique utilisé et les concentrations. Cela permet à l'utilisateur de réguler la chimie spécifique nécessaire pour divers procédés avec un maximum d'efficacité. La fonction DeepTrack Heating (DTH) utilise le profil de température différentielle lors du traitement des plaquettes, créé par les chambres thermiques. Ceci crée un puissant effet cyclonique et assure une couverture de substrat uniforme sans résidu. Ceci est idéal pour les applications de gravure à bas k et de rectification. En outre, BRANSON 3510R-DTH est livré avec un logiciel personnalisable permettant à l'utilisateur d'ajuster les paramètres du processus rapidement et facilement. Ce logiciel permet également un contrôle diagnostique complet du modèle et permet à l'utilisateur de connaître l'état de chaque plaquette pendant le traitement. 3510R-DTH est l'un des systèmes de traitement des plaquettes chimiques humides les plus avancés sur le marché aujourd'hui. Avec ses 2 chambres thermiques, ses 2 chambres à vide et sa fonction révolutionnaire DTH, il offre un contrôle et une efficacité sans précédent dans le nettoyage, la gravure et la préparation de surface. Son logiciel personnalisable permet un contrôle rapide et facile de divers paramètres de processus, ainsi qu'un contrôle diagnostique complet de l'équipement. Ce système est idéal pour les applications de nettoyage micro-électronique, et avec ses fonctionnalités avancées, il est sûr de révolutionner l'industrie.
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