Occasion DSC GROUP DSC 104 #9395307 à vendre en France

DSC GROUP DSC 104 est un équipement « Other Wafer Processing » qui a été conçu pour fournir un support de traitement de wafer pour la fabrication de circuits intégrés. Il s'agit d'un système polyvalent qui est utilisé pour le dépôt de couches épitaxiées, le polissage chimico-mécanique (CMP) de la surface de la plaquette et pour d'autres applications connexes. Il peut également être utilisé pour les gravures d'appareils, micropatterning, inspections optiques et test de puce. Le DSC 104 est équipé d'une série de composants qui lui permettent de réaliser une large gamme de processus de plaquettes. Tout d'abord, l'unité contient une chambre à vide, ainsi qu'une source d'ions alimentée en hélium et un canon à électrons, qui permettent à la machine de déposer des couches minces de matériau épitaxié à la surface de la plaquette. Deuxièmement, l'outil est équipé d'une tête de polissage chimico-mécanique (CMP), où le substrat peut être polie à l'eau ou à sec. Il s'agit d'une étape clé du processus de fabrication, car elle permet de niveler avec précision la surface de la plaquette. En plus de ce qui précède, l'actif contient également plusieurs autres composants tels qu'une station de traitement semi-automatisée des plaquettes, ainsi que plusieurs stations d'inspection (y compris microscope, capteurs d'images et systèmes de balayage laser). Chacun de ces composants est intégré dans une architecture modulaire, permettant un transfert de données et d'informations facile et efficace entre les différents modules. DSC GROUP DSC 104 comprend également divers systèmes de contrôle et de rétroaction du procédé, permettant un contrôle serré des étapes de dépôt et de polissage des plaquettes du procédé. Pour ce faire, on utilise plusieurs capteurs, tels que des capteurs de pression et de température, ainsi qu'un inverseur de fréquence qui permet de contrôler avec précision le courant du faisceau d'ions. L'onduleur de fréquence est également utilisé pour réguler et surveiller d'autres paramètres de processus, tels que le taux de dépôt de matière. Dans l'ensemble, le DSC 104 est un équipement polyvalent qui peut être utilisé pour diverses opérations de traitement de plaquettes. Il est conçu avec des systèmes de contrôle et de rétroaction des processus serrés, ainsi que plusieurs modules d'inspection et stations de traitement des plaquettes, ce qui en fait une solution idéale pour les environnements de production. La conception modulaire du système le rend facile à mettre à niveau et à personnaliser, ce qui le rend adapté à une variété de besoins au sein de l'industrie de fabrication électronique.