Occasion ELMA 660H #9401119 à vendre en France

ELMA 660H est un équipement avancé de traitement automatique des plaquettes conçu pour le nettoyage complet et reproductible des plaquettes IC. Ce système est un module C + S 400L sans contact à quatre chambres pour le nettoyage automatique des porteurs de plaquettes IC. Ce module est la norme de l'industrie pour les plaquettes jusqu'à 6 pouces de diamètre. 660H offre une gamme complète de technologies, de procédés et de manutention pour le nettoyage et le traitement des CI à l'avant et à l'arrière. Doté d'une unité entièrement fermée avec des concentrations de chlore réglables à la chambre, ELMA 660H offre un contrôle complet des processus de traitement par lots de face simple à double face. La taille de la chambre 660H garantit que les plaquettes peuvent être traitées efficacement indépendamment de l'application et de la surface. ELMA 660H dispose d'une chambre de nettoyage par décapage humide, d'une chambre de déglaçage, d'une chambre de CMP (polissage mécanique chimique) énergiquement améliorée, et d'une chambre de nettoyage et de séchage à contact étendu. La chambre de nettoyage du gommage humide est conçue pour éliminer les particules et les contaminants avant le traitement CMP. Ce processus de nettoyage élimine les particules et les autres types de contamination qui pourraient autrement entraver la performance des CI. Après le nettoyage du gommage humide, la chambre de déglaçage est utilisée pour éliminer les résidus qui peuvent rester sur la surface de la plaquette. La chambre CMP énergiquement améliorée est équipée d'une température de concentration ajustable à base de chlore et fournit un processus d'adaptation de surface entièrement automatisé, répétable et programmable pour différents diamètres de plaquettes. Cette chambre est également capable de CMP in situ multi-niveaux du côté arrière du CI. Enfin, la chambre de nettoyage et de séchage à contact étendu est utilisée pour un dernier rinçage et séchage de la plaquette, avec éventuellement un dégazage supplémentaire. Conçu pour une production flexible, 660H utilise des systèmes automatisés pour charger et décharger les porteurs et assurer le contrôle des processus. De plus, un module optionnel de nettoyage de l'ozone peut être ajouté à la machine pour éliminer davantage les particules et les résidus à la surface de la plaquette. En outre, l'outil prend en charge tous les formats communs de suivi des données, permettant une traçabilité complète et la documentation de processus. En résumé, ELMA 660H est un actif avancé de traitement automatisé des plaquettes C + S 400L à quatre chambres conçu pour le nettoyage et le traitement complets et reproductibles des plaquettes IC. Avec des concentrations de chlore à chambre ajustables et des systèmes automatisés pour le chargement et le déchargement des supports, 660H prend également en charge tous les formats communs de suivi des données pour la traçabilité et la documentation des processus.