Occasion ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT #9060500 à vendre en France
URL copiée avec succès !
Appuyez sur pour zoomer
ID: 9060500
Style Vintage: 2002
Wafer cleaner
(10) Stations
Software
Manuals: installation, operation, maintenance
280V, 3 phase, 100A, 82kVA
Pneumatic power supply: 6-7 bar, 1.5Nm3/H
2002 vintage.
ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT est un équipement de traitement de plaquettes spécialement conçu pour le revêtement de plaquettes délicates, telles que celles en aluminium, arséniure de gallium, oxyde et silicium comprenant une variété de couches différentes dans le but de circuits intégrés, MEM, optoélectronique et autres applications. Cette machine permet d'équilibrer les substrats et les plaquettes par filage selon une technologie brevetée de palier angulaire qui supprime la non-uniformité et les vides à la surface de la plaquette. Cela permet une épaisseur de revêtement maximale avec uniformité, améliorant le processus et le rapport coût-efficacité. En utilisant une tête d'enrobage de dispense avec des têtes supplémentaires en option et des adaptations sur mesure telles que le positionnement de masque, ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT est capable d'effectuer une variété de tâches, y compris le revêtement conforme, le revêtement de flux, le dépôt de couches minces et les nanofiltages avec un haut degré de précision et de contrôle. En outre, le système offre des économies de coûts grâce à sa longueur de revêtement courte, une accélération et une décélération élevées, et des techniques de refroidissement pour maintenir la qualité de la plaquette, évitant la surchauffe ou l'oxydation pendant le traitement. ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT est également équipé de systèmes de métrologie en ligne et d'imagerie 3D pour détecter les déformations et les défauts dans la plaquette. En éliminant tout défaut au cours du processus, l'unité peut assurer un rendement élevé et l'uniformité du produit. Il prend également en charge les données en temps réel et la surveillance des métriques de processus telles que le débit, le temps de cycle et les taux de défauts pour habiliter la précision et permettre l'optimisation des processus en ligne. L'opérateur peut également recevoir des alarmes et des déclencheurs pendant le processus et se conformer à la réglementation en ce qui concerne la traçabilité et l'historique des processus d'enregistrement. En outre, la machine intègre des caractéristiques uniques telles qu'une plate-forme de connectivité avancée et jusqu'à 8 substrats sont compatibles avec l'outil à la fois. Toutes ces caractéristiques sont conçues pour améliorer l'efficacité et la qualité des applications critiques de revêtement de plaquettes. Dans l'ensemble, ELMA HS350/1100/300/6-ABS-WLT est un actif avancé de traitement de plaquettes qui offre des capacités de revêtement de plaquettes précises et de haute qualité qui répondent aux normes les plus élevées de l'industrie. Il est convivial, économique et capable de satisfaire les exigences les plus exigeantes et les plus exigeantes.
Il n'y a pas encore de critiques