Occasion ELMA X-tra Line 800 #293605217 à vendre en France

ELMA X-tra Line 800 est un équipement « Other Wafer Processing » qui est adapté pour le vide ultra-élevé et les nettoyages pré/post à haute température. Il s'agit d'une plate-forme automatisée de traitement monobloc conçue pour traiter des plaquettes de 150mm à 300mm de diamètre. Ce système est équipé d'une puissante alimentation Brushless, contrôlant les paramètres de nettoyage tels que la pulvérisation à haute pression et la capacité de traitement des brosses. Il dispose également de la capacité plasma haute pression et de la capacité de stockage du substrat. L'unité peut traiter les plaquettes par gravure, dépôt ou nettoyage. Ses deux chambres de traitement de 300mm de large possèdent des capacités de pulvérisation haute pression, de brosse et autres. La machine est équipée d'un contrôleur capable de réagir rapidement lors des processus de pré et post-nettoyage. L'outil comprend une tête de balayage rapide capable d'effectuer des inspections mobiles. Il dispose également d'un microscope optique pour inspecter les échantillons pendant les processus de pré et de post-nettoyage. L'actif est équipé d'un modèle de microposition ergonomique pour le placement et le positionnement précis des plaquettes. X-tra Line 800 peut effectuer plusieurs étapes de traitement en un seul cycle. Il est équipé de l'équipement avancé d'inspection des plaquettes (AWIS) et du contrôle automatisé du mouvement des étages (ASMC) pour augmenter le contrôle des processus et des plaquettes. Le système est conçu pour un entretien facile, contenant des composants tels que des appareils de chauffage, des aiguilles, des solénoïdes et des filtres qui sont faciles à changer et à remplacer. En outre, l'unité est très efficace en raison de sa conception modulaire, fournissant la capacité et la flexibilité pour une grande variété de processus. La machine est équipée d'un outil de suivi de processus flexible qui fournit des données en temps réel et l'analyse des tendances. Dans l'ensemble, ELMA X-tra Line 800 est une plate-forme automatisée de traitement monobloc qui offre des capacités de numérisation et de traitement à grande vitesse, ainsi qu'une inspection avancée des plaquettes et un contrôle automatisé du mouvement des étages. Il est adapté pour le vide ultra-élevé et les nettoyages pré/post à haute température et dispose de puissantes capacités d'alimentation sans brosse, de pulvérisation haute pression et de traitement des brosses. L'actif est conçu pour un entretien facile, avec des composants tels que des appareils de chauffage, des aiguilles, des solénoïdes et des filtres qui sont faciles à changer et à remplacer.