Occasion EM TECH BM2424 #293660908 à vendre en France

ID: 293660908
Style Vintage: 2019
System 2019 vintage.
EM TECH BM2424 est un équipement de traitement de plaquettes entièrement automatisé et multifonctionnel conçu pour une large gamme d'industries, y compris la production de semi-conducteurs et de microélectroniques. Le système combine une capacité élevée de rétention des processus avec un contrôle des processus reproductible, fiable et précis, permettant aux utilisateurs de traiter une variété de substrats avec un degré élevé de répétabilité. BM2424 dispose d'une chambre de traitement de 250mm x 250mm x 200mm qui est conçue pour accueillir une grande variété de tailles de plaquettes allant de 3 « à 8 » de diamètre et 0,8mm à 8mm d'épaisseur. L'unité comprend une variété de chambres de procédé, y compris une chambre de gravure, une chambre de polissage, une chambre de gravure sèche, et une chambre de gravure humide. Chaque chambre de procédé est conçue pour optimiser l'uniformité du profil des plaquettes tout en facilitant le nettoyage, le lavage et la préparation pour l'étape suivante du procédé. Un spinner à quartz de 20nm haute performance est inclus dans la machine EM TECH BM2424. Cette filière a été conçue pour assurer une répartition uniforme des matériaux associés à la plaquette tout en évitant toute détérioration potentielle du bord de la plaquette par la force de rotation. La filière assure également l'évacuation des gaz piégés contenus à l'intérieur de la chambre de procédé en un certain temps, évitant ainsi toute contamination potentielle de la surface de la plaquette. Le procédé de dépôt en couches minces de BM2424 utilise une technique de dépôt physique en phase vapeur (PVD) à basse pression, permettant aux utilisateurs de déposer des couches minces de divers matériaux sur leurs substrats. La technique PVD utilise des bombardements thermiques et électroniques pour vaporiser physiquement le matériau cible, qui est ensuite re-condensé sur la surface de la plaquette. L'épaisseur de la couche déposée peut être contrôlée avec précision en fonction de la vitesse de croissance du matériau cible. Les capacités de détection in situ du point d'extrémité de la technologie EM TECH BM2424 permettent aux utilisateurs de déterminer avec précision l'épaisseur ou la hauteur d'étape de la couche mince au fur et à mesure du processus de dépôt. Cet outil de détection d'extrémité surveille la vitesse de dépôt et arrête le processus de dépôt lorsque l'épaisseur de film ou la hauteur de pas souhaitée est atteinte. Les paramètres du point final peuvent être stockés pour une utilisation ultérieure et sont facilement personnalisables pour différentes applications. Le robot de manutention de plaquettes BM2424 est très efficace et conçu pour un minimum de 100 plaquettes par cycle de nettoyage et de processus. Le robot est également capable de manipuler un large éventail de différents types de plaquettes, de doux et délicat à dur et robuste. Le robot de manipulation des plaquettes permet à l'opérateur de sélectionner le nombre de plaquettes à traiter et les paramètres de processus spécifiques qui doivent être appliqués. EM TECH BM2424 comprend une variété d'accessoires de chambre de procédés spécialisés. Une station de lavage intégrée en acier inoxydable permet aux utilisateurs de nettoyer rapidement la chambre de processus avant chaque nouveau cycle de processus, assurant le plus haut niveau de propreté. Un bras de transfert à température contrôlée permet aux utilisateurs de transférer rapidement et avec précision des données importantes de l'actif de contrôle à la chambre de processus, réduisant ainsi le risque de perte ou d'erreur de données. BM2424 est un modèle complet et fiable de traitement des plaquettes qui offre aux utilisateurs une combinaison de précision, de répétabilité et de débit élevé dans une variété d'industries. L'interface utilisateur intuitive de l'équipement, ses capacités de détection automatique des points d'extrémité et sa construction durable en font un choix idéal pour la production de semi-conducteurs et de microélectroniques.
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