Occasion ENTEGRIS Ultra-6102 #9156643 à vendre en France

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ID: 9156643
Style Vintage: 2004
FOUP Cleaning system Return conveyor (1) Spray wash / rinse chamber (2) Dynamic dry chamber Stored in clean room 2004 vintage.
ENTEGRIS Ultra-6102 est un équipement entièrement automatisé de traitement des plaquettes conçu pour traiter rapidement et avec précision une grande variété de tailles et de types de plaquettes. Il est capable de traiter jusqu'à 300mm de plaquettes et est capable d'un traitement à haut volume et à haut débit. Le système a été conçu pour la précision et la précision de pointe, le rendant adapté à une variété d'applications, des applications de recherche dans un environnement de laboratoire au traitement de la production industrielle. Ultra-6102 se compose d'un chargeur de wafer, d'un manipulateur de wafer, d'une tête de procédé et d'un ensemble de spinner. Le chargeur de plaquettes est une unité sous vide pouvant accueillir jusqu'à 25 plaquettes à la fois. Le composant du gestionnaire dispose d'une machine multi-caméra capable de détecter et de positionner avec précision les plaquettes prêtes à être traitées. La tête de procédé est équipée de plusieurs outils pour le traitement physique et chimique. Chaque outil est programmable indépendamment, permettant une gravure et un dépôt précis des matériaux. L'ensemble spinner est également réglable et peut tourner rapidement et avec précision des plaquettes jusqu'à 22 000 tr/min. L'ensemble de l'outil est monté sur une plate-forme mobile, ce qui lui permet d'être facilement déplacé entre les lignes de production ou les emplacements. En option, l'actif peut être équipé d'un moniteur de performance in sysytem pour suivre l'efficacité et la sortie. ENTEGRIS Ultra-6102 est un modèle de traitement de plaquettes de pointe, capable de fournir des cycles de traitement précis et précis sur une large gamme de tailles de plaquettes. Il est idéal pour les laboratoires scientifiques et les lignes de production industrielle où la précision et l'efficacité sont d'une importance primordiale. L'équipement est facilement mobile, ce qui le rend incroyablement polyvalent et offre des niveaux de flexibilité sans précédent.
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