Occasion ESA Ultima Plus #9097308 à vendre en France
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ID: 9097308
Style Vintage: 2010
Test system
Device: 955AF
Computer: (17) 5500
OE3: 16
PSU: 16
MSDB: 2
Sockets: 2
TPC: removed
Currently crated
2010 vintage.
ESA Ultima Plus est un équipement de traitement de plaquettes de pointe conçu pour fournir aux utilisateurs une solution intégrée pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système est construit sur la plate-forme Ultima standard de l'industrie, et intègre à ce titre un certain nombre de caractéristiques telles que les mécanismes d'entraînement de précision, les systèmes de contrôle, l'acquisition d'images et l'inspection visuelle. L'unité comprend un chargeur de plaquettes, un dispositif de chauffage, un poste de cuisson post-exposition et une machine d'inspection laser. Selon les exigences, certains outils comme le microscope électronique à balayage de dimension critique, l'inspection du faisceau d'électrons ou la sonde de gravure peuvent être ajoutés à la suite de l'équipement. Les plaquettes sont traitées sous température, humidité et pression contrôlées dans un environnement dédié qui assure un processus de fabrication propre et reproductible. L'outil est équipé à la fois d'un alignement de plaquettes et de capacités de détection de collage de plaquettes pour détecter les défauts qui pourraient avoir été causés lors du chargement ou du déchargement. L'actif d'alignement assure l'alignement de la plaquette dans la chambre de traitement, tandis que le modèle de détection de collage détecte et mesure toute adhésion entre la plaquette et la chambre de traitement. Ultima Plus comprend également un équipement de contrôle pour cartographier et calibrer automatiquement les paramètres de traitement de chaque couche. Un système automatisé d'enregistrement des données est également disponible pour stocker et suivre les informations de traitement de chaque plaquette. Cela permet d'optimiser les processus au fil du temps et réduit considérablement les temps d'arrêt en identifiant les problèmes potentiels au début du processus. En outre, l'unité comprend divers progiciels tels que SPC (Statistical Process Control) pour permettre aux utilisateurs de surveiller les performances de production et d'optimiser les processus. Cela aide à obtenir des rendements plus élevés et à augmenter le débit. Le logiciel prend également en charge la surveillance à distance des performances de l'équipement, permettant une maintenance prédictive et la détection précoce des problèmes. ESA Ultima Plus est une plateforme polyvalente qui peut être personnalisée pour répondre aux besoins spécifiques des utilisateurs. Cette machine est idéale pour les applications à l'échelle de l'industrie et est conçue pour garantir que les utilisateurs tirent le meilleur parti de leur traitement des plaquettes.
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