Occasion HEISE C #9008204 à vendre en France

HEISE C est un équipement automatisé de traitement des plaquettes créé par HEISE Corporation. Le système a été conçu pour fournir un traitement de haute précision avec un faible coût de propriété. L'unité est capable de traiter des plaquettes jusqu'à douze pouces de diamètre. Il est très précis et précis, capable d'atteindre une taille répétable de 3 microns. Il convient à des procédés tels que la gravure fine et la fabrication de dispositifs microélectroniques de précision. C est une machine compacte et transportable qui présente un profil bas, permettant une intégration et une mise en œuvre faciles dans les environnements existants de la ligne de production avec un minimum de perturbations. Il dispose d'un boîtier supérieur en aluminium anodisé robuste et d'un boîtier résistant à la corrosion pour la surface supérieure. Au cœur de l'outil se trouve une table de positionnement rotative bi-axe de haute précision. Cela permet une rotation et un alignement constants et précis de la plaquette. La table est entraînée par un servomoteur à faible bruit et à fort couple. L'actif comprend également deux étapes indépendantes de traitement de niveau inférieur. La première d'entre elles est une station de traitement par gravure humide. Cela permet un processus de gravure à base alcaline précis et répétable. Il est également capable d'effectuer des gravures sèches à l'aide d'ions réactifs. La deuxième étape de traitement est une station d'application de couche de passivation. Ce poste est capable d'appliquer des couches minces et des réseaux de silicium protecteur à haute performance et à basse température. HEISE C comprend également un certain nombre de caractéristiques et d'options périphériques telles qu'un couvercle de protection pour les surfaces exposées des plaquettes, un modèle optimisé de gestion des substrats et des fluides de traitement et un équipement de contrôle des processus en boucle fermée. En conclusion, C offre un haut niveau de performance et de précision dans un ensemble compact et économique. Conçu à la fois pour des applications de recherche et de production, il est une solution idéale pour répondre à la demande croissante d'appareils de traitement des plaquettes.