Occasion HEKEDA TY 250 #9301003 à vendre en France
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HEKEDA TY 250 est un équipement de traitement de plaquettes haute performance conçu pour les processus de métallisation dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un système autonome qui comprend une plate-forme entièrement intégrée avec une chambre de traitement du plasma, une station de nettoyage in situ des plaquettes, une unité de manutention des plaquettes compatible avec la salle blanche, et un puissant logiciel de planification et de contrôle des dépôts. La chambre de traitement plasma de TY 250 est conçue avec deux zones distinctes qui permettent le traitement à haute température et le dépôt de couches métalliques fines. Les zones indépendantes permettent le dépôt simultané de siliciures métalliques par gravure à distance du plasma pour la production de matériaux diélectriques de haut k. La machine a été conçue avec une grande sensibilité et une large gamme de paramètres pour minimiser les défauts et permettre un développement plus rapide du processus. L'outil permet également l'élimination rapide des poudres, ce qui minimise les rejets hors spec et améliore les rendements de production. La station de nettoyage in situ des plaquettes HEKEDA TY 250 est équipée d'un matériel de pré-nettoyage avancé pour assurer l'élimination des particules la plus efficace avant la métallisation. La station est conçue avec une tête de pulvérisation rotative programmable et un modèle de séchage rapide intégré pour le nettoyage le plus uniforme et efficace des plaquettes ultra-minces. L'équipement de transport et de manutention des plaquettes TY 250 est entièrement automatisé et équipé de technologies avancées de détection de vide et de pression. Le système comprend un outil de manutention robotique de plaquettes, une unité de refroidissement de plaquettes, une alimentation à vitesse variable, un dispositif d'extraction de plaquettes et plusieurs capteurs de sécurité. Cela garantit un transfert et une manipulation sûrs, précis et fiables des plaquettes entre la chambre de traitement du plasma, le poste de nettoyage des plaquettes in situ et l'étuve de séchage. HEKEDA TY 250 dispose également d'un puissant logiciel de planification et de contrôle des dépôts. Ce logiciel permet aux utilisateurs de contrôler tous les paramètres du processus, y compris la température, la pression, la sécurité et les cycles de nettoyage. Les utilisateurs peuvent facilement définir plusieurs emplois, les prioriser et suivre tous les progrès et paramètres à distance. L'unité s'intègre également à des systèmes standard de contrôle des processus au niveau de l'entreprise pour faciliter l'intégration et l'automatisation. TY 250 est une machine de traitement de plaquettes avancée et fiable conçue pour les processus de métallisation dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il combine des modules automatisés haute performance avec un logiciel puissant, ce qui en fait une solution idéale pour produire des matériaux haut de gamme avec une productivité améliorée.
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