Occasion HOE IE ELECTRONIC Y06150A #9170754 à vendre en France

HOE IE ELECTRONIC Y06150A est un autre équipement de traitement de plaquettes conçu pour fournir un haut rendement et un traitement de plaquettes à haut rendement. Il est conçu pour être utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour réaliser des processus de gravure et de transfert de plaquettes nécessaires à la réalisation de dispositifs logiques. Pour ce faire, on utilise une combinaison de faisceaux d'électrons de haute énergie (HEE) et de faisceaux d'ions de haute énergie (HEI). Y06150A fonctionne à l'aide d'une seule alimentation de plaquettes pour chacun de ses quatre principaux procédés : gravure de plaquettes, transfert de plaquettes, fabrication de dispositifs de plaquettes et dépôt de métaux. Le procédé commence par l'isolation thermique de la plaquette. L'unité d'isolation thermique est alors utilisée pour protéger la plaquette de tout dommage qui pourrait être causé par les faisceaux HEE et HEI utilisés dans les processus de gravure et de dépôt. Après avoir isolé thermiquement la plaquette, les procédés de gravure et de dépôt sont alors initiés. Les faisceaux HEE et HEI utilisés dans le processus de gravure et de dépôt sont composés d'électrons et d'ions énergétiques, respectivement. Les électrons énergétiques pénètrent dans la surface de la plaquette et transfèrent sa chaleur vers le matériau semi-conducteur. Les électrons désorbent encore la surface de la plaquette, qui sont ensuite évaporés hors de la chambre par l'orifice d'échappement. De même, les faisceaux d'ions générés par la machine HEI bombardent la surface de la plaquette en créant un plasma qui évapore les matériaux désirés de la plaquette. Après évaporation des matériaux désirés, le processus d'évaporation est ensuite complété par une purge de gaz inerte, typiquement He, qui traverse la chambre de procédé pour éliminer les particules libres de la surface de la plaquette. Une fois les processus de gravure et de dépôt terminés, la plaquette est ensuite déplacée vers l'étape de transfert de la plaquette. L'outil de transfert de plaquettes est utilisé pour retourner la plaquette traitée dans la chambre et pour transporter la plaquette au poste de fabrication du dispositif. Lors de l'étape de fabrication du dispositif, des techniques photolithographiques sont utilisées pour graver des motifs sur les interrupteurs ou autres composants désirés. Ensuite, on dépose une couche métallique à la surface des composants, ce qui se fait typiquement par dépôt d'un faisceau électronique. Après dépôt de la couche métallique, la plaquette est ensuite transférée à la deuxième station d'isolation thermique pour refroidissement et le procédé est terminé. En résumé, HOE IE ELECTRONIC Y06150A est un autre actif de traitement de plaquettes utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour la fabrication de dispositifs logiques. Il utilise une combinaison de poutres HEE et HEI pour le processus de gravure et de dépôt et utilise une station d'isolation thermique pour éviter tout dommage à la plaquette. Il dispose en outre d'un modèle de transfert de plaquettes pour retourner la plaquette et la déplacer à travers les différentes étapes de processus et d'un équipement de fabrication de dispositifs pour la photolithographie et le dépôt de la couche métallique. En fin de compte, Y06150A fournit un rendement élevé et un traitement des plaquettes à haut rendement.