Occasion JEOL TAM200XM-S #293649787 à vendre en France

JEOL TAM200XM-S est un autre équipement de traitement avancé utilisé pour le prototypage et la production de circuits intégrés. Conçu par JEOL, un important fabricant d'outils de traitement des plaquettes, TAM200XM-S est un système automatisé qui peut traiter jusqu'à 200 mm de plaquettes. Il utilise le transport vertical en un seul étage pour transporter les plaquettes à travers ses multiples chambres de processus, permettant à l'utilisateur d'effectuer des opérations toujours précises sur une variété de substrats. Il présente une variété d'opérations utilisatrices, y compris la gravure, le dépôt, l'implantation ionique, la photolithographie et l'oxydation thermique, entre autres. En outre, JEOL TAM200XM-S offre des mesures de contrôle avancées et des options pour la température, la pression et le débit, permettant un haut degré de réglabilité pour les processus qui l'exigent. L'unité est également capable d'intégrer différents équipements de support tels que l'interférométrie laser et les dispositifs de chauffage par substrat. La machine dispose d'une plate-forme CVC + intégrée, qui permet aux utilisateurs d'accéder à toutes les fonctions de traitement des plaquettes primaires à partir d'un seul panneau de commande. Le CVC + peut également être utilisé pour personnaliser des recettes spécifiques, définir des temps de cycle, vérifier le bon alignement et calculer les rendements. De plus, le CVC + est capable de surveiller la santé de l'outil, de programmer la maintenance et d'analyser les données pour dépanner les problèmes rencontrés lors du traitement de chaque plaquette. Enfin, TAM200XM-S utilise également une variété de capacités de métrologie avancées, y compris l'actif de capteur optique (OSS) et la sonde humide. OSS permet la mesure en cours de processus des plaquettes pendant qu'elles sont en cours de traitement tandis que la sonde humide offre une large gamme de mesures dans un motif dense sur la surface de la plaquette. Cette combinaison avec le logiciel évolutif JEOL TAM200XM-S permet aux utilisateurs de se tenir au courant des derniers développements de l'industrie. TAM200XM-S fournit ainsi une solution de traitement automatisée avancée pour le prototypage et la production de circuits intégrés.