Occasion KERRY SC 1000CL #148527 à vendre en France

KERRY SC 1000CL est un équipement de traitement automatisé de plaquettes conçu avec une gamme de capacités de processus pour améliorer le rendement, les coûts et le débit ainsi que la sécurité dans la fabrication de plaquettes semi-conductrices. Le système combine une chambre rotative de traitement des plaquettes avec un dispositif de confinement à paroi chaude. À l'intérieur du dispositif de confinement, la température, l'humidité et les niveaux de particules sont précisément contrôlés à moins de 10 par pied cube. Cela garantit que les contaminants ne peuvent pas pénétrer dans la chambre de procédé, protégeant les surfaces délicates et sensibles des plaquettes contre la contamination, les dommages à l'équipement et les pertes de rendement. SC 1000CL offre également une chambre de réaction intégrée pour la mise en oeuvre de procédés en phase vapeur tels que les procédés flexibles de nettoyage, All-Gas et ALD sur des plaquettes, tels que la gravure, l'oxydation, la nitridation et le dépôt de métaux. Tous les gaz nécessaires sont facilement fournis à la chambre de procédé, assurant des exécutions efficaces et répétables. La chambre de réaction dispose également d'une surface d'appui de plaquette chauffée et d'un socle flottant de plaquette pour des températures de traitement allant jusqu'à 800 ° C et une uniformité de température répétable ± 4 ° C KERRY SC 1000CL est conçu pour les procédés livrés en série ainsi que pour la production de produits semi-conducteurs haut de gamme. Il peut également être utilisé dans des applications critiques pour la sécurité où un contrôle étroit de la température, de l'humidité et du contrôle des particules est nécessaire. Les contrôleurs d'automatisation avancés et les logiciels de l'unité aident les ingénieurs à répondre aux spécifications exigeantes et aux exigences de sécurité de l'industrie des semi-conducteurs. SC 1000CL permet également la surveillance à distance et l'acquisition de données, ce qui en fait une excellente solution pour les projets de contrôle de processus à long terme. La machine est également certifiée avec des normes de qualité ISO9001 et ISO14001 et environnementales, offrant la tranquillité d'esprit et une meilleure acceptation mondiale des produits. En conclusion, l'outil KERRY SC 1000CL est un outil avancé et automatisé de processus de wafer, offrant un haut niveau de répétabilité et de contrôle de processus pour une variété de processus de fabrication. C'est une excellente solution pour les applications critiques pour la sécurité et le contrôle des procédés dans l'industrie des semi-conducteurs.