Occasion KINETICS Megapure 6001 HC #9358271 à vendre en France

KINETICS Megapure 6001 HC est un équipement avancé de traitement des plaquettes conçu pour fournir un débit élevé et des performances supérieures dans une configuration entièrement automatisée et hautement polyvalente. Le système comprend un réacteur HCCM (High-Current Melt) de 12 pouces avec une unité de croissance de cristaux multi-buse de cristallisation avancée qui permet un fonctionnement sur une large gamme de plages de température, allant d'un maximum de 350 ° C à un minimum de 300 ° C De plus, un substrat à courant élevé de 12 pouces et un étage porteur chauffé transportent jusqu'à trois substrats de 12 pouces jusqu'à 20 KJ/m2. Le 6001 HC dispose également d'une unité de distribution de liquide en ligne qui fournit avec précision le stock de semences, le milieu, le dopant et les fluides de contrôle thermique nécessaires pour le contrôle complet du processus. Les chambres thermiques étanches assurent la propreté pendant le processus et sont chauffées avec un chauffage à faible diffusion thermique de 450 watts. En outre, l'étage de surface chauffée est équipé d'une machine à verrouillage rapide qui permet un changement rapide et l'alignement des plaquettes et des supports. L'outil comprend également des régulateurs de débit massique ultra-sensibles (MFC) avec un contrôle de résolution à 5 décimales pour un débit précis de gaz à ultra-haute température, ainsi que des capteurs de force inertielle multi-axes. Ces capteurs permettent un contrôle automatique de la température et de la vitesse lors de la croissance cristalline, permettant un traitement et une production de plaquettes plus rapides et plus précis jusqu'à 500 plaquettes par heure. Le 6001 HC est conçu pour offrir des performances supérieures en combinaison avec une gamme de caractéristiques de sécurité et d'environnement. La conception de l'interface homme-machine (HMI) et son intégration complète avec les outils fab, la gestion des processus, la validation et les systèmes d'exécution de fabrication facilitent l'utilisation dans un environnement de production. Diverses autres caractéristiques spéciales, comme la surveillance de la toxicité, la notification de remplacement des filtres et des liquides et la surveillance de la variation des procédés, garantissent un environnement de travail sécuritaire et efficace.