Occasion LNI SCHMIDLIN PG-H2 100 #9245687 à vendre en France
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LNI SCHMIDLIN PG-H2 100 est un équipement automatisé et performant de traitement de plaquettes conçu pour la fabrication de plaquettes de haute précision. Cette machine est adaptée à diverses applications, y compris la production de plaquettes de silicium, de MEMS, de capteurs MEMS, de thermopiles et de plaquettes optiques à semi-conducteurs. Il est largement utilisé pour le traitement post-croissance de plaquettes, telles que la gravure sèche et humide, le nettoyage, le contrôle de coplanarité, le dépôt, l'affinage, le dopage et l'électromigration. PG-H2 100 système de traitement des plaquettes se compose de deux composants principaux, l'unité de sélection et l'unité de sélection. L'unité pick-and-place de l'unité est un bras robotisé multi-axes qui est évolutif jusqu'à cinq axes pour gérer différentes configurations de plaquettes et opérations pick-and-place. Il est capable de placer des plaquettes de façon précise et répétable sur des substrats. Le support de substrat est un cadre réglable avec une machine de chauffage et de refroidissement intégrée, permettant un réglage facile des températures. L'outil est équipé de trois modules principaux pour le traitement des plaquettes : le module d'application chimique, le module PVD et le module sous vide. Le module d'application chimique est idéal pour contrôler la précision de la gravure chimique avec une gamme d'applications incluant les opérations de pré-nettoyage et de nettoyage, le revêtement par pulvérisation, le revêtement par spin et la gravure à sec. Le module PVD est une chambre à vide pour le dépôt physique en phase vapeur de métaux, de polymères et de diélectriques pour le dépôt de couches semi-conductrices comme l'aluminium et le nitrure de titane. Le dernier module, le module sous vide, est adapté aux procédés tels que la RIE, la gravure ionique, le nettoyage du plasma et l'oxydation. Cet atout est conçu pour une installation, un fonctionnement et une maintenance faciles, avec une interface tactile intuitive et une connectivité ethernet. Il est également livré avec un modèle de gestion de données puissant et l'horaire de travail automatique. LNI SCHMIDLIN PG-H2 100 dispose d'un environnement sûr et respectueux de l'opérateur avec un boîtier entièrement fermé et ventilé, pas besoin d'une salle blanche, et un équipement de sécurité avancé pour répondre aux exigences des normes internationales. Ce système est capable de produire des plaquettes hautes performances avec précision, propreté et précision à l'esprit. La précision, la fiabilité, la flexibilité et la sécurité de PG-H2 100 en font un choix idéal pour une large gamme d'opérations de fabrication de plaquettes.
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