Occasion MARCH iTrak #9087090 à vendre en France

MARCH iTrak est un équipement avancé de traitement des plaquettes conçu pour répondre aux exigences des environnements de recherche et de production. Il offre la flexibilité et l'évolutivité pour s'attaquer aux processus les plus durs des films fins et épais. Le système est conçu autour d'une plate-forme multidirectionnelle RF/DC centralisée qui permet de créer et de maintenir des processus normalisés et avancés en couches minces avec le même niveau de contrôle élevé. Le mouvement du substrat est activé avec une unité de mouvement multi-axes de précision qui assure la précision et la répétabilité lors du transfert de substrats entre différentes stations de traitement. Chaque station dispose d'une commande de vide indépendante pour permettre des gravures séquentielles ou des processus de dépôt dans des conditions de vide différentes. Un générateur RF est inclus pour traiter les couches complexes de dépôt ou de soulèvement. Ce générateur permet un réglage précis de la puissance RF, de la fréquence et du rapport cyclique. ITrak comprend également une machine de régulation de température avancée pour assurer une cuisson appropriée du matériau déposé. MARCH iTrak dispose également d'une chambre de traitement de pistes hydrofluorocarbonées à lit flottant équipée d'un outil de détection PFEC (photofluorochromique). Cette chambre assure une exposition précise à l'OClVOMe pour le dépôt de substrats sur le substrat OClV-MASPR. ITrak est hautement personnalisable avec une large gamme de modules complémentaires, tels que le module de substrat RF OClV-MASPR, un module de contrôle de processus avancé, un moniteur d'ondes thermiques et un module de chauffage séparé. D'autres modules spécialisés permettent des applications uniques telles que le traitement des rayons X, l'alignement des plaquettes d'événements et les techniques de traceur laser. L'actif permet également la surveillance des processus et l'établissement de rapports avec un logiciel complet. Ce logiciel recueille des données à partir de plusieurs points du modèle, y compris le régulateur de température et les modules RF. Cela permet à l'utilisateur de visualiser l'ensemble du processus à la fois, ce qui facilite le diagnostic des problèmes et permet de découvrir les domaines d'amélioration. En résumé, MARCH iTrak offre la flexibilité et l'évolutivité requises par les environnements modernes de recherche et de production. Sa plate-forme centralisée RF/DC assure un transfert efficace des substrats, tandis que sa température avancée et sa compensation RF permettent de déposer des couches complexes ou des couches de soulèvement avec précision et précision. L'équipement prend également en charge des applications uniques telles que le traitement des rayons X et le traçage laser, ainsi que la surveillance des processus et les capacités de déclaration.