Occasion MEDEC / RIX TCM-2000 #9386201 à vendre en France
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MEDEC/RIX TCM-2000 est un équipement de traitement de plaquettes de pointe conçu pour répondre aux exigences des chercheurs de l'industrie des plaquettes. Ce système est capable de manipuler différents types de plaquettes, des plaquettes de silicium régulières aux plaquettes à couplage de charge (CCD). L'unité est conçue pour le traitement de plaquettes dans une variété de situations et de pressions, allant de la pression atmosphérique standard à des environnements à ultra-haut vide (UHV). RIX TCM-2000 peut manipuler des plaquettes allant de 50 millimètres à 200 millimètres, et est capable de manipuler un maximum de 200 plaquettes. Il dispose de deux bras manuels indépendants avec des positions de chargement et de déchargement en quatre étapes pour une plus grande automatisation. La conception unique des bras manuels permet une manipulation et un positionnement précis des plaquettes. Les 10 modules de traitement de la machine sont conçus pour traiter les plaquettes à l'état humide ou sec. Ses modules de traitement par voie humide sont capables de traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre, tandis que ses modules de traitement par voie sèche peuvent traiter jusqu'à 75 mm de plaquettes. Les modules de procédé humide offrent des procédés de gravure chimique, de nettoyage et de diffusion, tandis que les modules de procédé sec sont conçus pour effectuer CVD, oxydation, CMP, implantation ionique, usinage laser et lithographie. L'outil est équipé d'une unité de purge multi-gaz qui assure un contrôle supérieur des gaz actifs et permet un contrôle précis des paramètres du processus. En outre, MEDEC TCM-2000 est compatible avec diverses conditions environnementales telles que l'humidité et la température, et il peut être facilement intégré dans les installations de laboratoire existantes. TCM-2000 offre un large éventail de fonctions de réparation telles que la réparation des rayures et les services de retravaillement pour les fabricants de plaquettes. Il est conçu avec un outil de suivi des processus pour assurer le plus haut niveau de contrôle de la qualité. Le modèle comprend également une unité de gestion des déchets, permettant l'élimination en toute sécurité des produits chimiques dangereux utilisés dans le processus. Dans l'ensemble, MEDEC/RIX TCM-2000 est un équipement avancé de traitement des plaquettes conçu pour un large éventail d'applications de traitement des plaquettes. Ses deux bras manuels indépendants permettent un chargement et un déchargement précis des plaquettes, et ses 10 modules de processus sont conçus pour traiter une variété de plaquettes à l'état humide et sec. Les capacités de purge multi-gaz du système offrent un contrôle supérieur des gaz actifs, tandis que son unité de surveillance des processus offre un contrôle de la qualité. RIX TCM-2000 est également intégré à une unité de gestion des déchets pour l'élimination sûre des produits chimiques dangereux. Toutes ces caractéristiques en font une machine de traitement des plaquettes fiable et efficace.
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