Occasion MICRO AUTOMATION 2066SA #9028587 à vendre en France

MICRO AUTOMATISATION 2066SA est un équipement de traitement automatisé de plaquettes de pointe conçu pour la précision et le haut débit. Il supporte un large éventail de séquences de processus avec un minimum d'intervention manuelle. Ce système est idéal pour le traitement semi-conducteur, car il peut accueillir 12 "de plaquettes de dépôt, gravure, nettoyage et autres étapes de traitement de substrat. 2066SA est équipé d'une gamme de modules et de fonctionnalités pour supporter une large gamme de traitement de semi-conducteurs. L'unité comprend un port de chargement, une machine multi-chambres, un contrôleur de processus, une serrure de chargement, un support de stockage d'outils et un logiciel de surveillance des processus. Il est également livré avec une surveillance avancée en temps réel des processus et des outils d'analyse de données. Le port de chargement de MICRO AUTOMATION 2066SA permet un chargement efficace des plaquettes dans l'outil avec une intervention manuelle minimale. Ceci est soutenu par un outil de verrouillage de charge qui fournit un contrôle de température précis et cohérent. Il permet également le transfert rapide de plaquettes entre chambres de procédés. Le modèle multi-chambres de 2066SA supporte des séquences de processus en plusieurs étapes telles que la métallisation, le dépôt, la gravure et le nettoyage. Il présente des processus à la fois humides et secs, permettant une flexibilité et une précision dans le traitement d'un large éventail de substrats. En outre, l'équipement peut traiter jusqu'à 12 "plaquettes, permettant un débit élevé à des rendements plus élevés. Le contrôleur de processus de MICRO AUTOMATION 2066SA permet un contrôle précis des processus en temps réel. Il offre un contrôle complet des paramètres tels que les pressions, les températures et les taux de rampe pour garantir la précision et la répétabilité. De plus, le contrôleur peut être interfacé avec n'importe quel système de vide, ce qui permet d'optimiser davantage le processus. Le support de stockage d'outils de 2066SA permet le stockage d'une large gamme de modules de processus, permettant un haut débit et la flexibilité. Il peut accueillir plusieurs sous-modules, y compris des pistolets à plasma, des pyromètres, des graveurs et des cryo-pompes. Le logiciel de surveillance des processus de MICRO AUTOMATION 2066SA fournit aux utilisateurs une rétroaction en temps réel sur l'état des paramètres des processus. Il permet également aux utilisateurs de surveiller les performances des substrats et les rendements des produits, contribuant ainsi à optimiser la production. En outre, le logiciel comprend des outils de visualisation pour une analyse rapide et facile des données. 2066SA est une puissante unité de traitement automatisée des plaquettes conçue pour un débit et une répétabilité élevés. Il offre une large gamme de fonctionnalités avancées et de modules qui permettent aux utilisateurs d'obtenir des résultats précis et à haut rendement sur une gamme de séquences de processus.