Occasion MKS 1153A #77147 à vendre en France
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ID: 77147
Low vapor pressure source delivery system with analog controller, set up for TiI4.
MKS 1153A est un autre équipement de traitement des plaquettes de pointe produit par MKS Instruments Inc. Le système est conçu pour réduire le temps et le travail manuel requis pour produire des circuits intégrés et des dispositifs MEMS sur les plaquettes. C'est une solution de traitement de plaquettes économique et conviviale. L'unité se compose d'un cadre robuste et d'un contrôleur tactile convivial. Il est capable de réaliser des circuits intégrés d'une taille minimale de 200 nanomètres et des dispositifs MEMS d'une taille minimale de 10 nanomètres. La machine dispose également d'un puissant bras robotique 3 axes, capable de mouvements précis et reproductibles. Ses moteurs pas à pas peuvent déplacer le bras avec une précision de positionnement de 0,5 microns à des vitesses allant jusqu'à 6 mètres par seconde. L'outil utilise également un atout de contrôle de la température de précision pour assurer un contrôle précis de la température pendant le processus de la plaquette. 1153A est équipé de multiples systèmes de distribution de vide et de gaz pour un contrôle précis et fiable des processus. Les systèmes de distribution de vide et de gaz peuvent être programmés pour manipuler avec précision des paramètres de processus tels que le volume, le débit, la pression et la conductivité. Le modèle peut être utilisé avec une variété de substrats, y compris le silicium, le verre, la céramique et les métaux, ainsi qu'une variété d'etchants, de plasmas et de produits chimiques. L'équipement dispose d'un système de surveillance et de sécurité avancé avec de multiples alarmes et des fonctions d'arrêt de sécurité. MKS 1153A est une solution idéale pour les entreprises de fabrication de circuits intégrés et de MEMS. Ses performances précises, répétables et efficaces sont idéales pour une large gamme d'autres techniques de traitement des plaquettes. Cette unité est très fiable et rentable pour toute activité de fabrication de circuits et de MEMS établie.
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