Occasion MKS / ASTEX Astron ex #293647823 à vendre en France

ID: 293647823
Remote Plasma Source (RPS) P/N: FI80131.
MKS/ASTEX Astron ex est un équipement de traitement automatisé des plaquettes de précision conçu pour les applications avant et arrière les plus difficiles, y compris la lithographie et le placage. Le système offre flexibilité, débit élevé et faible empreinte tout en répondant aux exigences de précision les plus strictes. MKS Astron ex offre une grande variété de modules de processus pour accueillir tout type de plaquettes, y compris les plaquettes standard, personnalisées et ultra-haute densité. ASTEX Astron ex dispose d'une interface tactile intuitive pour un fonctionnement facile. Il est capable de traiter jusqu'à 200 plaquettes par heure grâce à sa technologie innovante de traitement par lots à 8 stations. Les capacités de mouvement multi-axes de précision permettent à la machine d'obtenir une précision de sous-microns dans l'alignement des motifs, avec une précision d'enregistrement de +/- 0,6 μ m et une précision d'épaisseur de +/- 0,4 μ m. Les caractéristiques uniques d'Astron ex comprennent l'alignement automatisé des centroïdes des plaquettes, le contrôle automatique de la focalisation, la détection et l'alignement dynamiques du visage et le survol systématique automatisé. Les exploitants d'unités peuvent inspecter objectivement l'alignement de chaque plaquette avant ou pendant le processus et contrôler la quantité de contamination sur les plaquettes entrantes et sortantes. En outre, la machine est conçue avec une grande variété de capacités de module optionnelles avancées, telles que le placage de haute précision, le réseautage de plaquettes à plaquettes, les étapes anti-contamination, et plusieurs systèmes de manutention de plaquettes. La conception modulaire de MKS/ASTEX Astron ex permet également des mises à niveau faciles et des ajouts de fonctionnalités, permettant aux utilisateurs de configurer rapidement la machine pour répondre à leurs besoins spécifiques. L'outil avancé et robuste de MKS Astron ex permet aux fabricants de traiter des dispositifs semi-conducteurs haute densité avec une excellente répétabilité et uniformité de manière sûre et efficace. Sa conception modulaire et son fonctionnement intuitif en font le choix idéal pour les applications de plaquettes les plus difficiles et complexes.
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