Occasion MKS ASTeX FI20620-1 #9165070 à vendre en France

MKS FI 20620-1 est un équipement avancé de traitement des plaquettes conçu pour être utilisé dans les procédés chimiques humides dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système dispose d'une conception de flux en place (FIP) unique pour traiter plusieurs plaquettes simultanément. Cela permet d'augmenter le débit et de réduire le temps de cycle par rapport aux systèmes traditionnels de traitement monobloc. L'unité peut accueillir jusqu'à 15 plaquettes à la fois selon les exigences spécifiques de l'application. La machine se compose d'un réservoir de procédé, d'un bras de transfert, d'une unité de distribution, d'un contrôleur, d'alimentations et d'un filtre/régulateur. Le réservoir de procédé est en acier inoxydable de haute qualité et est scellé pour faciliter les cycles de processus efficaces. A l'intérieur du réservoir se trouvent une série de chambres individuelles avec des canaux les reliant. Le bras de transfert est utilisé pour déplacer les plaquettes d'une chambre à l'autre. L'unité de distribution est utilisée pour distribuer avec précision et précision les produits chimiques désirés à l'emplacement exact dans la cuve de traitement pour le traitement. Le contrôleur est le « cerveau » de l'outil et est chargé de coordonner le mouvement du bras de transfert, la température du réservoir du procédé, la chimie du procédé et la pression de vide. Cela garantit que les processus sont exécutés avec précision et la plus grande répétabilité. Le contrôleur peut également être utilisé pour suivre l'avancement des processus, ce qui permet une plus grande cohérence des résultats. MKS FI20620-1 dispose également d'unités d'alimentation avancées qui fournissent une tension et un courant fiables à l'actif. Cela garantit que les processus sont exécutés efficacement et avec une grande cohérence. Le filtre/régulateur est également un composant important car il aide à s'assurer que les gaz, les températures, les pressions et les niveaux de vide corrects sont atteints pendant le traitement pour une fiabilité maximale. FI 20620-1 est un modèle de traitement de plaquettes très avancé conçu pour être utilisé dans des procédés chimiques humides dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est doté d'une conception FIP unique pour augmenter le débit, la précision et la répétabilité, et est capable de manipuler jusqu'à 15 plaquettes à la fois. Il dispose également d'alimentations avancées et d'un filtre/régulateur pour une tension et un courant fiables pour l'équipement, ainsi que pour assurer les gaz, les températures, les pressions et les niveaux de vide corrects sont atteints. Le système est un outil puissant et efficace pour une variété de procédés semi-conducteurs.