Occasion MKS ASTeX FI20620-1 #9165071 à vendre en France

Le MKS FI 20620-1 est un autre équipement avancé de traitement des plaquettes conçu pour un fonctionnement de haute précision et à haut débit. Le système est capable de traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre et est équipé de quatre chambres de processus ainsi que de deux systèmes de vide indépendants pour assurer la fiabilité et la précision. De plus, l'unité dispose d'un bras robot de précision capable de placer et de récupérer chaque plaquette avec précision jusqu'à une précision de position maximale de 5 microns. La machine dispose également d'un ensemble de contrôle graphique avancé appelé DELTAMD. Ce paquet de contrôle contient une grande variété de fonctionnalités qui fournit aux utilisateurs un choix de recettes et de paramètres qui peuvent être optimisés pour des processus spécifiques. Cette large gamme de fonctionnalités permet à l'utilisateur de créer des recettes simples ou complexes et d'optimiser ainsi facilement les recettes de traitement des plaquettes pour le rendement et le débit. MKS FI20620-1 contient également une grande variété d'options sophistiquées de manutention des plaquettes. Cela comprend des processus tels que l'alignement des mandrins pour maintenir la plaquette pendant le chargement, le pré-alignement automatique et l'inspection des patchs. L'outil contient également des capacités de pré-alignement et d'inspection des pellicules, de sorte que les recettes de processus peuvent être adaptées pour inclure les exigences d'alignement. En outre, l'actif dispose d'une gamme de caractéristiques spéciales conçues pour optimiser la stabilité du processus, le rendement et le débit. Cela comprend un programme amélioré de détection des plaquettes qui surveille les erreurs de profil des plaquettes sur l'axe, la stabilisation du processus sous-jacent, ainsi que le contrôle de la pression et le suivi du deuxième ordre pour la stabilisation du processus en première ligne. Dans l'ensemble, FI 20620-1 est un autre modèle de traitement des plaquettes puissant et précis qui permet aux utilisateurs de créer des recettes complexes et d'optimiser les processus pour augmenter le rendement et le débit. L'équipement offre une grande variété de capacités sophistiquées de manutention des plaquettes, d'alignement hors axe, de pré-alignement et d'inspection des pellicules, ainsi qu'un programme amélioré de détection des plaquettes qui en fait un choix idéal pour un fonctionnement précis et à haut débit.