Occasion MKS FI 80131 #9165072 à vendre en France

MKS FI 80131 est un autre équipement de traitement de plaquettes développé par MKS Instruments. Ce système automatisé de traitement des plaquettes est conçu pour fournir des performances fiables et répétables pour chaque plaquette traitée. Il est doté d'une conception intégrée permettant à un seul robot de transporter chaque plaquette ou pile de plaquettes du port de chargement à la chambre de traitement. Un bras de transfert automatisé positionne chaque plaquette dans la zone de traitement de la chambre, ce qui permet de déterminer avec précision les paramètres du procédé en fonction de la taille, du matériau et de l'épaisseur de la plaquette. La chambre de MKS FI80131 est équipée d'une unité de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à haute pression qui fournit les conditions optimales nécessaires pour des revêtements uniformes et cohérents des plaquettes. La vitesse de décompression est réglable en fonction des différentes exigences du processus et peut être utilisée en mode pression et vide. De plus, la plage de température de la chambre est réglable de -20 ° C à + 400 ° C, ce qui la rend adaptée à une grande variété de procédés tels que l'oxydation, la nitridation, le recuit et la diffusion. Cette machine dispose également d'un outil IPV (Isolation Valve) entièrement automatisé, un dispositif de sécurité permettant de remettre rapidement dans l'atmosphère tout gaz piégé à l'intérieur de la chambre. L'actif IPV facilite également l'introduction de volumes de gaz prédéterminés dans la chambre, permettant la formation de couches précisément définies avec une épaisseur répétable. Afin d'assurer une qualité et une uniformité maximales des couches de plaquettes, ce modèle est équipé d'un progiciel avancé qui assure un contrôle total de tous les paramètres du processus. Le logiciel permet aux utilisateurs de stocker facilement les recettes de processus, d'ajuster les consignes et de surveiller la température, la pression et la vitesse de décompression des plaquettes. Les fonctions de surveillance et de journalisation en temps réel permettent également aux utilisateurs d'enregistrer des conditions de chambre importantes telles que la température, la pression et la vitesse de dépôt pour chaque couche de plaquette. Idéal pour une utilisation dans des environnements académiques et industriels de fabrication de plaquettes, le FI 80131 est à la fois fiable et facile à utiliser. Sa conception innovante et son équipement logiciel intégré garantissent le plus haut niveau de cohérence et de qualité des couches de plaquettes, ce qui en fait le choix idéal pour toute application de traitement de plaquettes.