Occasion MKS FI80132 #293628188 à vendre en France

MKS FI80132 est un équipement de traitement automatisé des plaquettes de haute puissance utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs et de MEMS. Le système est conçu pour traiter rapidement des plaquettes dans un large éventail d'environnements et supporte un certain nombre de technologies de fabrication, y compris PECVD et ALD. FI80132 est équipé d'un porte-plaquettes de 300mm de diamètre, d'une cassette de plaquettes coulissantes et d'un loadlock de 300mm. C'est une machine polyvalente et performante qui peut s'adapter à des exigences de fabrication variées. L'outil utilise un seau à vide pour positionner et localiser des plaquettes pour le traitement. Il utilise un étage programmable x-y wafer pour déplacer des lots de wafer à travers plusieurs stations de processus. Cela permet de traiter rapidement de grands lots de plaquettes en peu de temps. L'actif est équipé de plusieurs fonctions automatisées, telles que le balayage de codes-barres et la reconnaissance de motifs. Cela réduit la manutention manuelle des plaquettes, ce qui augmente l'efficacité. De plus, la température élevée du procédé est maintenue grâce aux atmosphères avancées et aux emballages tempersoniques. Le modèle intègre également un processus de purge/nettoyage automatisé qui fournit une efficacité supérieure de nettoyage des plaquettes. L'équipement est également équipé d'un système de transport avancé de plaquettes qui assure un transport rapide et fiable le long des grands chemins de traitement. MKS FI80132 est une unité à vide ultra-élevé capable d'atteindre des pressions de base de 25 mTorr lorsqu'elle est correctement configurée. Ceci est important pour empêcher la formation de particules qui peuvent endommager le processus. Une machine à gaz avancée et des régulateurs de débit de gaz réduisent encore le risque de contamination par les particules. L'outil est également équipé de multiples systèmes de surveillance de processus, y compris une gamme complète de systèmes infrarouges et laser pour détecter/identifier les cibles de processus. Cela permet un suivi granulaire des processus qui permet une analyse et un contrôle efficaces. Globalement, FI80132 est un outil de traitement automatisé des plaquettes conçu pour faciliter la fabrication efficace et fiable des semi-conducteurs et des MEMS. Il s'agit d'un modèle innovant qui intègre de multiples technologies de pointe telles que le balayage de codes-barres, la reconnaissance de motifs, les procédés de purge/nettoyage, les contrôleurs de débit de gaz et les moniteurs de processus. Cette combinaison de fonctions augmente considérablement l'efficacité du traitement, ce qui se traduit par un délai de commercialisation plus rapide et des coûts moins élevés.