Occasion MKS Revolution Series #9103292 à vendre en France

MKS Revolution Series est une plateforme de production complète et intégrée pour le traitement d'autres plaquettes. Conçue pour le contrôle des processus et l'intégration des processus, Revolution Series offre des performances supérieures et une fiabilité accrue dans une gamme de configurations pour répondre aux besoins de l'évolution actuelle du traitement des plaquettes. En combinant le matériel, les logiciels et les technologies les plus récents, la plateforme MKS Revolution Series offre un contrôle de bout en bout des processus pour toutes les autres applications de traitement des plaquettes. Revolution Series dispose d'une chambre de traitement thermique rapide à haute température (RTP) intégrée pour la production de wafer à la pointe de la technologie. La plateforme offre une précision et une fiabilité inégalées pour les applications nécessitant des conditions de traitement des plaquettes extrêmement précises et un débit maximal. Les fonctions de capture de données et d'exécution de processus très précises permettent un suivi en temps réel des paramètres et des performances du processus de wafer. MKS Revolution Series fournit également des fonctionnalités avancées pour l'optimisation des processus. Son système de surveillance des processus multi-capteurs assure un contrôle précis et complet sur une gamme de paramètres de processus. Revolution Series comprend des capacités avancées de gestion de la mémoire pour un fonctionnement rapide et fiable des plaquettes. Son mécanisme avancé de régulation de la température assure un contrôle précis des températures du procédé, permettant une uniformité de température étroite sur toutes les plaquettes en cours de traitement. En outre, MKS Revolution Series est équipé d'un module de générateur RF de haute puissance pour les traitements avancés de gravure plasma, ablation laser et masquage. Son alimentation RF à commutation rapide permet de régler la puissance en temps réel jusqu'à 20 MHz, contribuant ainsi à optimiser le contrôle des processus et les performances des plaquettes. Revolution Series dispose d'un ensemble d'outils d'optique de haute précision unique avec divers objectifs et étapes pour un alignement précis pendant le traitement des plaquettes. Le laser intégré de série de faible puissance offre une précision d'engagement supérieure et un contrôle des impulsions de haute précision. Le système combiné de manutention et de traitement des plaquettes garantit des performances de qualité maximales. MKS Revolution Series est la plate-forme idéale pour le traitement moderne d'autres plaquettes haute performance. Ses puissantes capacités assurent la stabilité des processus et le contrôle ultime des applications de traitement des plaquettes. Avec son design robuste et ses fonctionnalités avancées, Revolution Series permet des rendements plus élevés et un coût de possession plus faible pour d'autres traitements de plaquettes.