Occasion MKS RPS 2L #9052456 à vendre en France

MKS RPS 2L est un équipement de traitement multi-plaquettes, à haut débit, spécifiquement conçu pour répondre aux exigences croissantes des processus semi-conducteurs de fond. RPS 2L est un système complet de processus de wafer qui est construit pour le traitement de wafer de haute précision. Il est optimisé pour des applications de précision telles que RTP (Rapid Thermal Processing), ECD (Electrolytic Chemical Deposition), Photolithography, et pulvérisation. MKS RPS 2L offre une grande précision, moins de défauts, un rendement amélioré et une disponibilité des outils. RPS 2L dispose d'un HMI intuitif qui permet un fonctionnement facile et un contrôle de processus avec un temps de configuration minimal. L'unité est capable de manipuler jusqu'à 200mm de plaquettes dans une seule cassette, permettant un débit massif et un rendement élevé. De plus, il offre un contrôle précis de l'uniformité, de la température et du temps de traitement. La machine est également équipée d'un transport automatisé de plaquettes, avec une manutention manuelle minimale. Cela permet de réduire la contamination et de réaliser des économies pour un large éventail de besoins de production. En outre, MKS RPS 2L est construit en acier inoxydable durable et dispose d'une gestion thermique à haut rendement pour un coût de possession réduit. Il offre également une excellente uniformité de température entre les plaquettes pour améliorer le contrôle et la précision des processus. Pour optimiser encore l'efficacité, l'outil dispose également d'une chambre à vide intégrée qui minimise les changements de température des plaquettes et réduit le temps d'arrêt dû aux exigences de maintenance. Enfin, RPS 2L dispose d'un design modulaire, ce qui en fait le choix idéal pour la mise à niveau ou l'expansion des actifs. Cela permet un retournement rapide et des économies de coûts, ainsi que la flexibilité pour répondre à diverses exigences. Dans l'ensemble, MKS RPS 2L est un modèle de processus de wafer efficace et de haute précision qui fournit la solution parfaite pour une large gamme de processus de semi-conducteurs arrière.