Occasion PBT Miniclean #9313059 à vendre en France
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L'équipement PBT Miniclean est un système entièrement automatisé de nettoyage des plaquettes de haute précision qui fournit une méthode sûre, fiable et économique de développement et de fabrication de circuits intégrés sur les plaquettes semi-conductrices. L'unité comprend un poste de pré-rinçage, un poste de nettoyage par pulvérisation à un étage chauffé et un poste de post-rinçage. Au poste de pré-rinçage, les plaquettes entrantes sont pré-nettoyées avec une solution détergente puis rincées à l'eau désionisée, éliminant ainsi les débris de particules grossières de leur surface. Au poste de nettoyage par pulvérisation à un étage chauffé, les plaquettes sont exposées à un agent de décapage, ou agent de nettoyage, à une température spécifique. Ceci est fait pendant plusieurs minutes, et selon l'application une variété d'agents de gravure peut être utilisée. Après la gravure, les plaquettes sont ensuite portées à une température permettant un rinçage approfondi de l'agent nettoyant et des particules restantes de la surface de la plaquette. Enfin, le poste de post-rinçage est utilisé pour le séchage des plaquettes. Miniclean dispose également d'une machine de manutention robotique unique pour le positionnement précis des plaquettes et d'un poste de chargement/déchargement intégré des plaquettes pour une manutention facile. L'outil robotique dispose d'un outil d'interception de sécurité pour protéger les opérateurs des incidents causés par un dysfonctionnement de l'équipement, et d'un modèle de contrôle de la contamination qui recycle, filtre et distille l'agent de nettoyage pour une meilleure utilisation. L'équipement comprend également un système de vide pour modifier la pression de la chambre de nettoyage, si nécessaire, et une unité spéciale de surveillance des plaquettes pour détecter et documenter les défauts survenant pendant le processus de nettoyage. La machine fonctionne en mode manuel, semi-automatique ou entièrement automatique, offrant aux utilisateurs un contrôle total sur les paramètres de processus tels que la température, le temps de nettoyage et la chimie de rinçage. En utilisant PBT Miniclean uni avec les meilleures recettes de processus en classe, les opérateurs peuvent obtenir un nettoyage sans défaut et des coûts d'exploitation réduits. En outre, sa conception conviviale permet une installation et une maintenance simples. L'outil est adapté aux environnements de salle blanche et peut être utilisé dans une variété d'applications de traitement de plaquettes de masquage et de lavage, à la gravure et le polissage chimique/mécanique.
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