Occasion PVA TEPLA / GEMETEC / HOLOGENIX WSPS-3 #9257414 à vendre en France

L'équipement de traitement de plaquettes PVA TEPLA/GEMETEC/HOLOGENIX WSPS-3 est un outil industriel de pointe conçu pour soutenir l'ensemble des processus de fabrication de dispositifs microélectroniques. Il dispose d'un système robotique intégré et d'une gamme complète de technologies avancées de contrôle des processus avec une excellente bibliothèque de recettes de processus. Cette unité est optimisée pour une production efficace, précise et répétable de dispositifs électroniques et photoniques complexes. La machine comprend une unité de manutention robotique 3 axes intégrée qui peut déplacer des plaquettes de 180 mm et des supports de transfert/dépôt de motifs avec un contrôle précis du mouvement et une localisation/orientation précise des plaquettes. Il offre également trois chambres et une chambre de transfert de plaquette adaptée, permettant un contrôle précis de la température, de la pression ou du vide. L'outil dispose d'une interface utilisateur intuitive et de puissants logiciels de programmation et d'acquisition de données pour une configuration facile des recettes de processus pour l'alignement du masque, le dépôt, l'oxydation, la résistance au développement, le nettoyage humide et sec, le laser et l'intégration de séquences de processus supplémentaires définies. L'actif de contrôle intégré est conçu pour garantir un contrôle précis des processus et des résultats reproductibles, ce qui garantit des performances et des rendements maximaux. Il permet une automatisation complète du dépôt, de l'alignement et de la gravure optique, ainsi que la fabrication de masques. Il a jusqu'à 48 processus simples ou bi-impulsions, contrôle de fréquence variable sur plusieurs chambres, fonctions de contrôle de temps variable et filtration des particules. Ses capacités de lithographie laser comprennent le marquage laser Gen2, le marquage laser alternatif et la gravure diélectrique à faible k. Ce modèle offre également des capacités avancées de surveillance des processus grâce à un équipement d'inspection visuelle. GEMETEC WSPS-3 dispose également d'excellentes caractéristiques de sécurité, telles qu'un harnais de sécurité, des boutons d'arrêt d'urgence sur tous les modules de processus et les composants de la machine. Il répond à des exigences élevées de précision avec certaines caractéristiques telles que les opérations basse tension, la production de chaleur minimale et les niveaux élevés de performance. Il dispose d'un excellent système de gestion thermique pour une meilleure distribution de la chaleur et une meilleure uniformité des couches. L'unité est également compatible avec les instruments de mesure automatisés, ce qui en fait un excellent choix pour le traitement complexe des plaquettes.