Occasion SC FLUIDS MEMS Dryer #141020 à vendre en France

ID: 141020
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2002
Supercritical CO2 MEMS dryer for single wafer drying, 6" to 8" Specifications: Wafer size: 6" to 8" Ultraclean CO2 delivery system Point of use particle filter: less than 0.003µ Solvent separator and water heater Automated process chamber closing mechanism PLC controller: stores up to 10 process recipes 2002 vintage.
SC FLUIDS MEMS Dryer est un équipement de traitement de plaquettes de pointe conçu pour la production de micro-électromécaniques (MEMS). Ce sécheur utilise la technologie de vapeur chauffée brevetée de SC Fluidic Technolgy pour sécher les tissus MEMS. Le système bénéficie d'un budget thermique exceptionnellement faible, ainsi que d'une homogénéité exceptionnelle lors du séchage. Il est conçu pour le séchage le plus efficace et le plus précis des couches poreuses des plaquettes MEMS. MEMS Dryer est une unité de traitement par lots entièrement fermée qui peut traiter une variété de tailles de plaquettes, de 200 à 400 mm de diamètre. La machine offre un environnement de travail propre et sans germes. Il dispose également d'un outil sous vide pouvant maintenir une pression allant jusqu'à 650 mbar, à une température allant jusqu'à 100 ° C La technologie de la vapeur chauffée vaporise les molécules d'eau, permettant à la surface de la plaquette de rester sèche et exempte d'humidité résiduelle. L'actif dispose également de contrôles automatisés et d'alarmes, permettant une automatisation et un contrôle de processus sans faille. Grâce à son contrôleur PLC, les opérateurs peuvent contrôler avec précision la température, la pression et le temps du processus de séchage. Les commandes conviviales et les logiciels faciles à utiliser rendent le modèle simple à utiliser et à entretenir. SC FLUIDS MEMS Dryer est idéal pour une production à haut débit. Il a un taux maximum de 800 plaquettes/heure et ses programmes automatisés garantissent des paramètres de séchage précis. L'équipement est également livré avec un interrupteur de sécurité pour l'arrêt d'urgence en cas d'événements imprévus. MEMS Dryer est l'un des systèmes de traitement des plaquettes les plus avancés sur le marché. Il offre une précision, une efficacité et des mesures de sécurité supérieures. Il bénéficie également d'une stabilité, d'une répétabilité et d'une flexibilité exceptionnelles dans ses opérations. Ce système est un excellent choix pour les fabrications MEMS qui nécessitent un séchage précis et fiable.
Il n'y a pas encore de critiques