Occasion SONOMAXS MH2014D / FC2025 #9296306 à vendre en France

SONOMAXS MH2014D/ FC2025 est un équipement multi-fonctionnel, multi-applications, d'autres équipements de traitement de plaquettes conçu pour la production de circuits intégrés, de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) et de composants optiques à couches minces. Il est capable de traiter des plaquettes de silicium, d'arséniure de gallium et de silicium polycristallin avec une contamination ambiante minimale. Les principaux composants du système comprennent l'unité de transport Substrat, le gestionnaire de substrat, le cadre principal, les porteurs de plaquettes et la machine optique de projection/exposition. L'outil de transport Substrat est conçu pour déplacer les plaquettes du port de chargement vers le gestionnaire de substrat. Il a un étage linéaire à trois axes qui assure un positionnement précis de la feuille et de la plaquette en trois dimensions. Le gestionnaire de substrat peut contenir jusqu'à 20 porteurs de plaquettes. Il a un moteur rotatif qui peut tourner jusqu'à 600 tr/min. De plus, les tiges de guidage et la plaque d'étanchéité assurent une manipulation précise et sûre des plaquettes. Le cadre principal est fait d'une combinaison d'acier inoxydable et d'aciers alliés durcis pour la durabilité. Il abrite tous les éléments d'actif et est conçu pour protéger contre la contamination ainsi que dissiper la chaleur produite dans tout le modèle. Les porte-plaquettes maintiennent solidement les plaquettes au fur et à mesure de leur déplacement à partir du gestionnaire de substrat et dans toute la chambre de procédé. Les porte-plaquettes sont conçus pour minimiser la manipulation et la contamination des plaquettes. L'équipement optique de projection/exposition est conçu pour effectuer la photolithographie, la métrologie et l'exposition au faisceau électronique. Il utilise une caméra sCMOS (scientific Complementary Metal Oxide Semiconductor) et un laser à fibre optique pour l'imagerie de précision. Le processus d'exposition est précisément contrôlé grâce à un logiciel de contrôle d'analyse. En outre, le laser à fibre optique fournit une sortie puissante pour l'imagerie de précision. Enfin, le système est exploité via une interface utilisateur graphique basée sur Windows. Il comprend des recettes de processus préconfigurées ainsi que la capacité de les personnaliser et de les éditer pour répondre aux exigences spécifiques de l'industrie. L'unité permet également l'accès et le contrôle à distance pour permettre la surveillance présente et à distance des processus de la machine. En conclusion, MH2014D/ FC2025 est un outil multifonctionnel, multi-applications, autre traitement de plaquettes conçu pour la production de circuits intégrés, de systèmes micro-électromécaniques (MEMS) et de composants optiques à couches minces. C'est un atout très polyvalent doté de capacités d'imagerie précises et d'un modèle de contrôle de température et de contamination pour un fonctionnement fiable, ce qui en fait une solution idéale pour un large éventail d'applications.