Occasion SPIRENT TAS8250 #9090486 à vendre en France
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SPIRENT TAS8250 est un équipement avancé de traitement des autres wafers conçu pour une grande variété d'applications de traitement des matériaux. Il s'agit d'un système modulaire doté d'une unité de mouvement multi-axes avancée, d'une chambre de processus entièrement intégrée et d'une puissante machine optique pour la mesure de la géométrie des plaquettes. En outre, l'outil dispose de gestionnaires de plaquettes programmables, de modules de transport et de supports de plaquettes, qui donnent à l'utilisateur le contrôle total des opérations de traitement. L'actif est conçu pour des opérations de traitement individuel des plaquettes ou des lots de haute précision. Il est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 400 mm (15,75 pouces) de diamètre avec une précision de ± 3 microns dans des diamètres supérieurs à 200 mm et m de plaquettes polygonales (rectangle, hexagone, trapézoïde). Il dispose également d'un modèle de commande de mouvement linéaire à double axe pour les opérations de sélection et de pose pour accueillir différentes formes et tailles de plaquettes. L'équipement optique avancé, composé d'une caméra haute résolution et d'une barre lumineuse LED, fournit une inspection couleur complète de la géométrie de la plaquette et des paramètres de processus tels que la taille, l'épaisseur et la largeur. En outre, la chambre de procédé, qui est entièrement intégrée pour contrôler la pression, la température et l'humidité, assure un traitement respectueux de l'environnement des matériaux non standards tels que les films métalliques, les poudres et les particules. Ce système est également compatible avec un large éventail de procédés liquides, y compris le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le dépôt par couche atomique (ALD), le placage sans électrodéposition et l'électrodéposition. TAS8250 est conçu pour être extrêmement convivial. Le logiciel intégré comprend une interface utilisateur graphique (interface graphique) pour une programmation et un contrôle faciles de l'unité. Le logiciel dispose également d'une machine de suivi automatisé des processus pour faciliter le dépannage et la surveillance du processus de fabrication. L'outil dispose d'un large éventail de capacités de journalisation et de surveillance des données telles que le stockage, la récupération, la génération de rapports et l'accès à distance. Dans l'ensemble, SPIRENT TAS8250 est un atout avancé et convivial conçu pour une variété de matériaux traitant des applications. Il dispose d'un modèle de commande de mouvement avancé, d'une chambre de processus entièrement intégrée et d'un équipement optique puissant pour assurer un contrôle et une précision optimaux lors du traitement des matériaux. En outre, les logiciels conviviaux et les capacités de gestion des données du système offrent une plate-forme efficace et fiable pour le traitement du matériel.
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