Occasion STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL #9267754 à vendre en France

STOELTING / TREK / WESTEK Triton 221 MIL
ID: 9267754
Style Vintage: 2012
In-line aqueous cleaner 2012 vintage.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL est un équipement de traitement de plaquettes semi-conductrices conçu pour répondre à une variété de besoins de traitement de plaquettes pour des applications complexes de dispositifs, y compris les systèmes MEMS (microélectromécaniques) et MEMS/CMOS (complémentaires oxyde métallique-semiconducteur). TREK Triton 221 MIL est capable de masquer et de graver des plaquettes jusqu'à un diamètre de 8 pouces/200 mm et est un élément clé d'une large gamme de procédés de développement et de production de pointe. WESTEK Triton 221 MIL est composé d'une armoire principale qui abrite le moteur, l'alimentation et les modules de commande, et une chambre contenant un système à vide sur mesure. Il est équipé d'un chargeur robotique de grand format qui peut manipuler des plaquettes jusqu'à 200 mm tout en offrant une précision et une répétabilité supérieures des composants mobiles. Le contrôle de l'unité se fait par l'intermédiaire d'une interface PC avec une interface graphique utilisateur (interface graphique) « intuitive » qui permet d'accéder facilement à toutes les principales fonctions de la machine. L'outil comprend également diverses options de processus intégrés pour faciliter une variété de besoins de traitement de dispositifs semi-conducteurs. Triton 221 MIL offre des performances exceptionnelles avec diverses options de gravure, y compris la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure ionique réactive profonde (DRIE). Ceux-ci fournissent des vitesses de gravure jusqu'à 1 micron/min à des températures plus élevées et une plus grande précision (jusqu'à 1 résolution Angstrom). Le procédé de gravure utilise des gaz de procédé et une tension de polarisation entièrement programmable pour la gravure conforme, ce qui permet la gravure de formes complexes avec une uniformité supérieure. La ressource de masquage optionnelle, qui est intégrée à STOELTING Triton 221 MIL, est conçue pour permettre un masquage efficace des plaquettes pour les structures MEMS et MEMS/CMOS. Il dispose d'un atout d'auto-alignement qui peut précisément aligner les outils de marquage pour une application cohérente du matériau photorésist. Le modèle de masquage comprend également une capacité d'auto-raclage DVD qui élimine les photorésist indésirables avant la gravure. STOELTING/TREK/WESTEK Triton 221 MIL est conçu pour une fiabilité ultime avec une gamme de capteurs de sécurité pour détecter les conditions d'arrêt, ainsi qu'un équipement de surveillance de la pression de la chambre qui fermera automatiquement l'unité si un point de consigne est dépassé. Le système comprend également un programme de maintenance qui peut être programmé ou réglé pour déclencher des messages d'alerte à intervalles périodiques pour assurer le bon fonctionnement de l'unité. Dans l'ensemble, TREK Triton 221 MIL est un excellent choix en tant que machine de traitement de plaquettes semi-conductrices, fournissant des processus de gravure et de masquage précis et fiables pour des applications complexes d'appareils. L'outil est facile à utiliser et à entretenir, et la ressource de masquage optionnelle en fait un choix idéal pour les processus de développement et de production MEMS/CMOS.
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