Occasion STOELTING / TREK / WESTEK Triton IV #9008264 à vendre en France
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STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV est un équipement industriel de haute qualité conçu pour la fabrication de plaquettes. Ce système est une solution entièrement automatisée, modulaire et flexible pour les besoins actuels de traitement des plaquettes semi-conductrices. TREK Triton IV peut être utilisé pour la planarisation mécanique chimique (CMP), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la diffusion, la gravure, l'implantation ionique, la lithographie, la marinisation, la métrologie, le dépôt plasma/vide, les diélectriques spin-on et la sonde de plaquettes. En outre, cette unité est conçue pour fonctionner dans un environnement allant jusqu'à la salle blanche Classe 1, ce qui la rend adaptée aux processus exigeants. WESTEK Triton IV dispose d'une puissante machine de contrôle intégrée, qui permet aux utilisateurs de programmer et de surveiller l'outil en utilisant l'interface graphique intuitive de l'utilisateur. L'actif de contrôle est construit sur des standards ouverts, ce qui le rend adapté à une grande variété de logiciels. Le modèle de contrôle intégré fournit un contrôle complet, étape par étape du flux de processus avec un suivi de processus activement géré. Cela garantit que les paramètres du processus sont maintenus avec précision tout au long du processus, ce qui permet d'obtenir des résultats très fiables et reproductibles. Cet équipement fournit également jusqu'à cinq configurations programmables, qui permettent aux utilisateurs de définir les conditions chimiques et physiques du processus afin d'optimiser les résultats du processus. STOELTING Triton IV offre une gamme de fonctions de surveillance de l'environnement et du système. Cela inclut un environnement contrôlé par la température, avec des consignes sélectionnables qui peuvent être ajustées en fonction du type de recette utilisée. L'unité utilise également la surveillance de processus en temps réel, avec des capacités intégrées de détection de gaz pour permettre aux utilisateurs de personnaliser les conditions de processus pour correspondre à l'application utilisée. En outre, Triton IV intègre plusieurs fonctions de sécurité, y compris des systèmes d'alarme et des commandes manuelles, pour assurer la sécurité des utilisateurs en cas d'événements imprévus. Cette machine est conçue pour accueillir une large gamme de tailles de plaquettes, allant de 200mm à 300mm. Il est équipé d'un collecteur à vide interne pour le traitement des plaquettes complètes, ou d'un maximum de 12 modules de traitement individuels pour le traitement des plaquettes fractionnées. L'outil est également compatible avec la plupart des chambres de processus standard, y compris les serrures de charge, les pré-aligneurs et les post-aligneurs. Enfin, STOELTING/TREK/WESTEK Triton IV est livré avec une gamme de services et de supports, garantissant aux utilisateurs l'assistance technique dont ils ont besoin en matière d'installation, d'exploitation, d'entretien et de réparation.
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