Photorésister d'occasion à vendre
La photorésist est un matériau clé utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs. Il joue un rôle crucial dans le processus de photolithographie, qui est utilisé pour créer des motifs complexes sur les plaquettes semi-conductrices lors de la fabrication des circuits intégrés (IC) .Photoresist est un matériau photosensible qui subit des modifications chimiques lors de l'exposition à la lumière. Il est typiquement composé d'une matrice polymère mélangée à des composés photosensibles appelés composés photoactifs (PACs) ou générateurs de photoacides (PAG). Ces PACs ou PAG sont responsables des changements dans la solubilité de la résistance lorsqu'elle est exposée à la lumière d'une longueur d'onde spécifique. Au cours du processus de photolithographie, une fine couche de résine photosensible est filée sur la surface de la plaquette. La résine est initialement à l'état liquide et s'écoule pour former un film lisse et uniforme. Ensuite, la plaquette est exposée à la lumière ultraviolette (UV) à travers un photomasque, qui contient le motif désiré. La lumière provoque les composés photoactifs dans la résine pour générer de l'acide ou d'autres espèces réactives. Cet acide catalyse alors une réaction chimique qui modifie la solubilité de la résine. Après exposition, la plaquette subit une étape de développement, où des parties de la résine photosensible exposées à la lumière se dissolvent dans une solution en développement, laissant derrière elle le motif désiré. La résistance restante sert de couche de protection lors des processus ultérieurs de gravure ou d'implantation ionique, transférant le motif sur le matériau sous-jacent. La performance de la résine photosensible, y compris la résolution, la rugosité des bords de ligne et la sensibilité à la lumière, est essentielle à la qualité globale et au rendement des CI fabriqués. Les efforts de recherche et de développement se concentrent sur l'amélioration de ces propriétés pour répondre aux demandes toujours croissantes de l'industrie des semi-conducteurs.
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