Occasion ACCRETECH / TSK APM-90A #9236077 à vendre en France
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ACCRETECH/TSK APM-90A prober est un équipement de sondes polyvalent et très précis utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs et de l'optoélectronique. Il est conçu pour fournir des mesures rapides et précises des caractéristiques des petits appareils et pour contrôler le processus d'alignement des composants de niveau de plaque de précision. Le système est construit sur une série de bases en aluminium léger qui supportent jusqu'à 7 axes, y compris un étage indépendant x-y- θ (θ est la position angulaire), deux étages de focalisation, un ASU (une unité d'étage automatisée), et deux sondes de contact. Chaque étage a une plage de +/- 8,8 mm, une vitesse maximale de 10 mm/s, une plage de force de 0-2,3 N, et une taille de pas de 0,01 µm. Il est capable d'aligner avec précision et de mesurer des sondes jusqu'à 50 µm, permettant des analyses automatisées de paramètres tels que la profondeur de l'appareil, la largeur, l'angle et l'épitaxie. Le prober utilise une table optique de 1600 mm x 1250 mm pour fournir une plate-forme stable pour un alignement précis et un fonctionnement à faible distorsion. Il comprend également quatre caméras numériques pour l'alignement des plaquettes dans le plan et quatre codeurs pour la rétroaction positionnelle pendant le processus de sondage. Les contrôleurs sont capables de commander jusqu'à six moteurs indépendants, qui sont conçus pour réduire le bruit de vibration pendant les processus d'alignement et de sondes. Le prober est intégré à une unité de gestion automatisée des plaquettes qui est conçue pour réduire les erreurs et éliminer le fonctionnement manuel. La machine peut déplacer la plaquette jusqu'à 45 mm dans les directions x, y et θ, tout en minimisant l'effet de vibration qui pourrait autrement affecter les données d'essai. Le prober comprend également un contrôle de profondeur laser embarqué qui est configurable pour les tests individuels de l'appareil et fournit une précision de mesure de 10nm. Le prober comporte également une commande de mouvement à 6 axes qui est capable de commander jusqu'à 12 sondes de contact pour diverses mesures. Enfin, le prober est conçu avec une série de conditions de test réalistes pour simuler des environnements de production réels et garantir des performances de qualité.
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