Occasion ELECTROGLAS / EG 4090u #9210101 à vendre en France
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ID: 9210101
Taille de la plaquette: 4"-8"
Probers, 4"-8"
Cassette: 25 or 26 Slots
Sequential
Programmable access controllable via external I/O
Auxiliary wafer tray
Quick single wafer insertion and extraction
Cross slot wafer detection
Intelligent quick load pipelining
Closed loop material handling
Accuracy: ±4 μm (System accuracy includes X, Y, ø / Z)
XY Positioning:
Travel: 19.80” (503 mm) X, 9.42” (239 mm) Y
Maximum speed: 10.0 in/sec (254.0 mm/sec)
Resolution: 0.01 mils (0.25 μm)
Repeatability: 0.01 mils (0.25 μm)
Maximum acceleration:
Standard configuration: 1.1G X axis, 0.53G Y axis
High force configuration: 0.88G X axis, 0.42G Y axis
Z-Stage:
Resolution Z: 0.25 mil 0.125 mil
Load:
Std. Z-stage: 25 lbs (11.3 kgs) 40 lbs (18.0 kgs)
HFZ-2: 135 lbs (61 kgs) 154 lbs (70 kgs)
Speed: 390 μsec/step 390 μsec/step
Probing range: 200 mil (5.1 mm) 200 mil (5.1 mm)
Travel full: 400 mil (10.2 mm) 400 mil (10.2 mm)
Repeatability Z: 0.25 mil (6.4 μm) 0.125 mil (3.2 μm)
ø Travel: ±5° ±5°
ø Resolution: 0.000917°/step 0.000917°/step
Chuck tops:
Standard: Ambient probing
Hot: Ambient to 130°C
Specials: Other ranges (Hot and cold)
Low compliance chuck tops: With HFZ-2 only
Standard: Ambient probing
Hot: Ambient to 130°C
Available in Au, Ni, Al (Unplated)
Tester communications:
Tester interfaces / Protocols supported
RS232C
TTL (Parallel I/0)
GPIB (IEEE-488)
EG Enhanced
RDP
Automation:
PTPA: Probe to pad alignment
Aluminized wafer
DPS II: Direct probe sensor II
APPV: Automatic probe position verification
PTPO: Probe to pad optimization
OCR: Optical character recognition
PMI: Probe mark inspection
IDI: Ink dot inspection
STAA: Self teach auto align
WSSC: Wafer stepping and scaling calibration
APCC: Automatic probe cleaning and continuity pad
CPCS II: Chuck probe contact sensor II
BSBC: Back side bar code reader
System architecture:
Multiple processors base around Pentium core
Flash memory (Core program)
PCI Bus internal PCBs (Serial and video)
PCI Bus ethernet PCB providing 10 and 100 MHz I/O speeds
Interface capabilities:
Tester interface packages
Motorized probe card theta
Semi automatic probe card
GEM: Generic equipment model
SEMI Standard communications for factory automation and control
AUI: Advanced user interface
FPD: Flat panel display, 10.4” Active matrix display
Touch screen
Elastomer keyboard
Clean room compatible
AT Style
Tester communications:
Tester interfaces and protocols supported
RS232C, TTL (Parallel I/0), GPIB (IEEE-488)
EGEnhanced, RDP
Prober mini-environment (Class 1):
Up to class: 10,000 areas
Electrical:
Volts Amps Hz
100 16.5 50/60
115 15.0 50/60
230 7.5 50/60
Footprint:
Standard: 45.3” (115 cm) W x 35.2” (89.4 cm) D x 34.2” (88 cm) H
Mini-e/SMIF: 52.5” (133.4 cm) W x 35.2” (89.4 cm) D x 34.2 (88 cm) H
Air: Minimum 85 psi CDA, 1.0 SCFM
Vacuum: Minimum 22 in Hg, 1.25 SCFM (Momentary flow for 15 sec).
ELECTROGLAS/EG 4090u prober est un système complet conçu pour le test automatisé des plaquettes et des dispositifs semi-conducteurs. Ce système avancé fournit des capacités de sondes optiques et électriques, permettant la caractérisation précise d'une large gamme d'appareils. EG 4090u est équipé de têtes multiples, permettant l'accès à plusieurs sondes et des résultats rapides. Il est équipé d'un certain nombre de fonctionnalités spécifiques à l'application, dont un pont d'entrée différentiel haute résolution, des capacités de balayage électronique avancées, et un contrôleur de température de haute précision intégré. Le pont d'entrée différentiel haute résolution d'ELECTROGLAS 4090 U assure la conversion numérique-analogique et l'amplification linéaire. Cette fonctionnalité permet d'obtenir des résultats extrêmement précis et reproductibles, permettant un contrôle précis de la plage de mesure et de la tension. Le pont 4090u comporte également des seuils programmables pour indiquer les événements et fixer des valeurs minimales/maximales. ELECTROGLAS/EG 4090 U offre de puissantes capacités de balayage électronique qui permettent de puissantes capacités de caractérisation sur une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. Les fonctions de balayage comportent un large éventail de fonctions, y compris la mesure du temps, de la fréquence et des caractéristiques de commutation à l'oscilloscope. Cette fonction peut également être configurée pour mesurer des signaux de capacité, d'inductance et de courant de bas niveau. En plus de ses puissantes fonctions de balayage électronique, ELECTROGLAS 4090u est équipé d'un contrôleur de température intégré de haute précision. Ce contrôleur assure que la température est maintenue à un niveau constant pendant les essais. Cette fonctionnalité permet une caractérisation plus rapide des appareils et des cycles de test. 4090 U est un système avancé de prober qui est bien adapté pour tester et caractériser une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. Sa combinaison de capacités de sondes optiques et électriques, ainsi que ses fonctions de balayage électronique et de contrôle de la température, en font un outil idéal pour des tests précis et reproductibles.
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