Occasion KLA / TENCOR 1007 #9150404 à vendre en France

KLA/TENCOR 1007 est un outil d'inspection et de métrologie de plaquettes semi-conductrices, conçu pour l'analyse précise de plaquettes de silicium modelées produites par le procédé de lithographie photolithographique utilisé dans la fabrication de circuits intégrés. KLA 1007 Prober utilise une optique avancée, des algorithmes de traitement d'image et divers logiciels de métrologie pour mesurer les paramètres détaillés des motifs sur les plaquettes. L'équipement TENCOR 1007 Prober se compose d'un étage de plaquette robotisé, d'une optique pour l'acquisition et l'éclairage d'images, de sources d'éclairage spécialisées et de modes d'imagerie, d'une variété d'algorithmes logiciels d'inspection et de métrologie des plaquettes et de puissants matériels et logiciels de traitement et d'analyse de données. Le système est conçu pour fournir des mesures extrêmement précises dans diverses applications de métrologie telles que la surveillance des procédés, l'analyse des rendements et l'analyse des défaillances. Le Prober comprend une unité d'analyse d'image avancée pour détecter les erreurs lithographiques telles que les surcouches, les contre-coupures, les ponts et autres défauts structurels. Il fournit également une analyse tridimensionnelle des caractéristiques de surface en utilisant l'interférométrie de la lumière blanche. Le Prober peut être modifié pour inclure une option d'analyse automatisée des défauts (ADA), qui peut détecter, classer et mesurer les défauts géométriques et structurels à partir d'une seule image. La machine comprend également un mode propriétaire HCI (High Contrast Inspection) qui améliore la détection des anomalies subtiles et souvent difficiles à détecter. Le Prober comprend également un ensemble complet d'algorithmes de métrologie conçus pour détecter, dimensionner et analyser une grande variété de défauts de structuration et de forme. Il peut effectuer des mesures globales telles que la largeur des lignes, la dimension critique (CD) et l'uniformité des dimensions critiques (CDU), ainsi que des mesures plus avancées telles que la rugosité des bords de ligne (LER), les mesures de pile et l'analyse des caractéristiques secondaires. Pour plus de contrôle de processus, le Prober a des fonctionnalités telles que la cartographie des substrats basée sur des recettes pour cartographier la plaquette entière rapidement et avec précision. 1007 Prober est compatible avec différents photomasques, résistances et chimies de gravure, et peut être intégré avec une plate-forme SEM pour la vérification inter-plate-forme et la corrélation des données. Le rapport complet de données de mesure de Prober fournit une traçabilité complète pour permettre un meilleur contrôle des processus, une amélioration rapide du rendement et une analyse précise du volume des caractéristiques. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR 1007 Prober établit une norme en métrologie et optimisation des wafers pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs.