Occasion KLA / TENCOR 1201 #9122036 à vendre en France

KLA / TENCOR 1201
Fabricant
KLA / TENCOR
Modèle
1201
ID: 9122036
Probers.
KLA/TENCOR 1201 est un prober automatisé de haute performance utilisé pour la cartographie de précision et la métrologie des motifs de métallisation, la photolithographie et les couches d'oxyde/polyimide sur les plaquettes ou les puces semi-conductrices. Le prober offre précision et répétabilité pour l'analyse précise des défauts et le contrôle des processus. Le standard KLA 1201 dispose d'un gestionnaire de plaquettes automatisé, chargeant des étages algorithmiques avec la capacité de la sonde de scan, permettant une sonde sans contact avec alignement de reconnaissance optique. Un mécanisme de mouvement de stade double fournit le positionnement d'outil lisse et exact et large working×range pour de plus grandes gaufrettes. Le réglage de la sonde est activé avec 8 sondes, avec une résolution de 332 x 445 µm pour une sonde ultra fine. TENCOR 1201 dispose également d'une optimisation automatique des points focaux et d'une véritable mesure de planéité. 1201 offre un certain nombre de caractéristiques pour augmenter la productivité et le débit. La technologie Parallax Mapping, MultiLayer Mapping et ProbEncoding permet la vitesse et la précision pour la cartographie des couches semi-conductrices. Les modules automatisés assurent une exécution efficace du processus, alliant grande vitesse, précision de l'outil et mouvement de la plate-forme. L'interface CoaXPress CXP4 prend en charge jusqu'à 4 caméras pour les applications intégrées. Cette fonctionnalité permet un transfert de données rapide, avec un débit de données TDI pouvant atteindre 5,0 Go/s par caméra et un système hautement configurable. KLA/TENCOR 1201 est équipé de nombreuses fonctionnalités pour fournir un alignement précis des plaquettes et garantir une qualité d'image nette. Un système avancé SmartAlignTM effectue une mesure géométrique à grande vitesse des plaquettes et un autofocus rapide pour l'inspection des plaquettes et des lames de base. D'autres fonctionnalités incluent AutoAlignMC pour l'alignement au niveau de la matrice compensant la topographie des plaquettes et offrent une plate-forme flexible pour minimiser le temps de planification et réduire les coûts de test des pri. Une technologie de capteur MACROTEK permet l'enregistrement de précision au niveau de la matrice, avec une précision d'enregistrement de 3,3 µm @ 3 sigma. La conception avancée de tête de sonde comprend des bras de contact simples et doubles faces, plusieurs étages de positionnement fin x-y pour augmenter le débit et la précision de mesure. KLA 1201 prober est utilisé dans les fonderies de semi-conducteurs pour analyser les composants microscopiques sur plaquettes et est également utilisé pour la continuité des opérations/reprise après sinistre, la maintenance des photomasques, le contrôle des processus et le dépannage. Il est idéal pour la fabrication de semi-conducteurs avec des caractéristiques pour une efficacité, une précision et une cohérence accrues.
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