Occasion SEMISHARE SX12 #9259731 à vendre en France
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ID: 9259731
Taille de la plaquette: 12"
Automatic DC probe station, 12"
Sealed micro chamber
EMI / Light / Noise
Chuck, 12" with central vacuum hole
Vacuum rings for sample holding
Super low noise tri-axial chuck
Output tri-axial adapter
Chuck flatness: 5µm
Chuck quick roll out mechanism for fast wafer exchange
Probe card and probe card holder are adaptable to platen
Platen can load up to (12) micro-positioners
EMI Shielding: > 30 dB (Typical) at 1 kHz to 1 MHz
Light attenuation: 130 dB
Spectral noise floor: ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
System AC noise: ≥ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
Optimized microchamber for less CDA consumption
Chuck XYZ-Theta
4 Axes
High precison motorized stage
Controlling system
Travel range: 350 x 500 x 20 mm
X, Y, Z Direction motion resolution: Minimum 0.1 microns
Repeatability: ± 1µm
Accuracy: ± 2µm
Chuck angle rotation range: ± 10°
Theta resolution: 0.0001°
Theta repeatability: 0.0005°
Theta accuracy: 0.001°
Maximum speed:
X/Y Axis: 70 mm/s
Z Axis: 20 mm/s
Chuck driver mechanism:
Zero backlash design
Grinded ball screw and linear guide rail
Chuck stage axes:
Linear scale resolution: 0.1 µm
Microscope XYZ motorized stage and controlling system
Microscope XYZ travel: 2" x 2" x 5"
Maximum speed: > 10 mm/s
Computer connection port:
RS232/485
TCP/IP
GPIB
Motors: Low noise DC motor
Anti-vibration table
SEMISHARE 3 Zoom
High resolution long working distance microscope
Three-speed zoom microscope 15:1
Display low magnification: 0.6x
Display high magnification: 2.5x / 9x
Microscope focus block:
Z Travel: 50.8 mm
Resolution: 1µm
(2) CCD Adapters inside
C Mount adapter
High power white light source: 150 W
Objective: 5x
WD: 34.0 mm
NA: 0.14
Visual magnification: 120-1,800x
(2) Industrial HD (2 Million pixels) CCD
SONY CMOS 2/3"
Resolution: 1920 x 1200
Frame: 30 fps
GigE Interface
(2) SEMISHARE SS-100 Micropositioners
Magnet base with switch
Linear XYZ travels: 12 mm
Linear motion
Probing Inclination: 0-30°
Accuracy: 0.7 microns
(2) AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 74CJ-APT-KS Kelvin coaxial probe holders
One probe tip
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 73CT-APTA
Replaceable coaxial probe
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
MEDO VP 125
Silent oil-free vacuum pump 7 l/min
Air compressor
Noise level: 52dB.
SEMISHARE SX12 est un prober très avancé utilisé dans les essais de semi-conducteurs. Il s'agit d'un outil spécialisé utilisé pour sonder les points de contact dans des composants ou dispositifs actifs, tels que des circuits intégrés ou des transistors. Il offre une solution de sondage capable d'atteindre des cibles avec un niveau extrême de précision et de répétabilité. SX12 prober comprend une tête d'essai à haute vitesse à base de silicium de précision. Il est intégré dans une structure autonome de prober wafer, qui peut trouver et mesurer avec précision les points de contact. La tête d'essai offre une précision extrêmement élevée de 0,5 micron (1,27 x 10-5 pouce). Cela permet de tester des composants extrêmement petits, contribuant aux capacités de test des dispositifs expansifs de SEMISHARE SX12. Avec la tête d'essai sophistiquée, SX12 dispose également d'une plate-forme de montage précise sans poussière. Ce contact sécurisé permet de protéger l'échantillon de toute micro-contamination éventuelle. La plaquette est montée en place à l'aide d'un système de serrage pneumatique haut de gamme. SEMISHARE SX12 prober offre également des fonctionnalités d'automatisation très avancées. Il comprend un système programmable de génération de chemin, capable de combiner une série de balayages T, X-Y et profondeur. La sonde peut accéder aux cibles des échantillons et mesurer précisément l'information à partir de hauteurs aussi basses que 0,05 micron. Il comprend également des fonctions automatisées de contrôle du gain et d'étalonnage de la stabilité, élargissant encore ses capacités de test automatisé. SX12 est un prober innovant qui peut atteindre les normes de précision qui ne se trouvent dans aucun autre produit disponible sur le marché. La haute précision de la tête d'essai, ainsi que ses capacités d'automatisation complètes, fournissent aux fabricants de semi-conducteurs un outil permettant de mesurer des points de contact extrêmement précis dans les composants ou dispositifs actifs. Qu'il fonctionne avec des circuits intégrés, des transistors, ou toute autre forme de semi-conducteur, SEMISHARE SX12 prober peut atteindre une précision non trouvée dans tout autre outil.
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