Occasion TEL / TOKYO ELECTRON 20S #9069027 à vendre en France
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TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON 20S est une matrice manuelle conçue pour la production de semi-conducteurs. Le prober présente un bras de cantilever de 40 à 40 millimètres qui a un rayon de 5 microns et une planéité statique et dynamique uniforme de 2 microns ou moins. Le bras est monté sur un cadre en acier inoxydable de 5 millimètres d'épaisseur qui est renforcé par des stabilisateurs verticaux et horizontaux. Ses deux étages moteurs cinq axes distincts et indépendants fonctionnent à 0,00017 degrés de résolution. Le prober est équipé d'un système de chargement d'échantillons, d'un étage de plaquette de mise sous vide et de systèmes de microscope 3D et d'alignement laser. TEL 20S offre une précision de mouvement supérieure et une répétabilité de 0,1 micron ou moins dans les cinq axes. Son porte-échantillon réglable et sa planeuse peuvent supporter des plaquettes de 15mm à 215mm et une élévation maximale de 12 micromètres, ce qui crée une détection et un alignement efficaces et précis de la taille de l'échantillon. TOKYO ELECTRON 20S permet également des tests de routine et un traitement thermique rapide (RTP) utilisant un contrôle de température multi-zones. Il fonctionne avec trois zones distinctes : échantillon et chauffe, mandrin et plaquette. Le prober a une large gamme de paramètres programmables, y compris la pression, le déplacement, la tension, le temps et la température. 20S est conçu avec fiabilité et performance à l'esprit. Son cadre léger empêche les interférences de vibrations, et son système de ventilation forcée est conçu avec un débit laminaire faible à grande vitesse pour minimiser la contamination par les particules en suspension dans l'air. Il dispose d'un champ programmable Gate Array (FPGA) pour un contrôle de mouvement rapide et de haute précision. TEL/TOKYO ELECTRON 20S est également conçu avec plusieurs caractéristiques de sécurité et de nombreuses fonctions de test et de mesure intégrées. Le prober offre un système de contrôle thermique efficace capable de contrôler les températures jusqu'à -60 ° C et jusqu'à + 400 ° C Enfin, il dispose d'une interface graphique simple mais intuitive pour un fonctionnement et une configuration faciles.
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