Occasion TEL / TOKYO ELECTRON P-8XL #9161662 à vendre en France
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ID: 9161662
Automatic wafer probers
Diameter: 6"-8"
Thickness: 150~1000 um
Max.Weight: 110g
Die size: 300~99999 um
Stage:
Contact accuracy(X,Y axis):
±6um (1995)
±4um Probe to pad
Contact accuracy(Z axis):
±5um (1995)
±5um
Z Chuck strength: 60kg
Deflection spec:
15um (Vertical)
8um (Horiz) @ 10kg 90mm From center
Z Acceleration: 1.0G
Z Stroke (maximum): 95mm
Z Probe range: 65.8mm to 93.3mm
Z Maximum velocity: 40mm/s
XY Stage / Platen:
Accuracy: Each axis ±2um
XY Stroke:
±118mm (X)
230~-110mm (Y)
Max. speed: 200 mm/sec
Acceleration: 2.2G
X: 2.2G
Y: 2.2G
Resolution: 0.4 um
Vibration (resonant):
X: .70 um
Y: .42 um
Overall accuracy, X,Y,Z, Q, PTPA:
X, Y and PTPA -- +/- 4 um @ 22C to 28C
Z and PTPA +/-5um @ 22C to 28C
APTPA Accuracy (Guaranteed probe marks using APTPA):
X/Y: ±6um
Z: ±5um
Chuck mechanism:
Rotation range: ±7.0 Degree
Angular resolution: 0.00022 Degree
Pre-align section:
Rotation speed: 360 Degree/sec
Alignment accuracy: XY±300um
Theta accuracy: ±0.17 Degree
Control resolution: (1) Degree
Alignment system: LED
Alignment :
Automatic self-teach & align: Yes
Temperature compensation: Every wafer
Auto set-up camera:
Bridge camera
Macro mode
Magnification: 0.41
Viewing area: 15.6 X 11.7mm
Medium mode (TEL shiva option)
Magnification: 3
Viewing area: 2.1 X 1.6mm
Micro mode
Magnification: 17.8
Viewing area: 0.36 X 0.28mm
DPS Camera:
Resolution
Macro mode
Magnification: 0.8
Viewing area: 5.85 X 7.8mm
Micro mode
Magnification: 12
Viewing area: 0.39 X 0.52mm
Display:
Type : TFT LCD Touch panel
Graphic function: Yes
Full color: (8) Colors
Bin color: Eye level
Position: Everything on LCD panel
Probe card changer:
Load & unload: Auto
Max. probe card size: 350mm
Need to do wafer unloading first: No
Parameter storage:
Remote set-up option: Yes
FDD: 3.5" 1.6M
HDD: 2.5" 352M
Manipulator:
Type: Motor
Swing motion: Stable
Remote control: Available
Hinge swing safety warning: Yes
Positioning accuracy (XYZ).
TEL/TOKYO ELECTRON P-8XL est un prober ultra-précis entièrement automatisé utilisé pour sonder les plaquettes et autres matériaux plats. TEL P8XL utilise son bras robot innovant avec commande de mouvement à 5 axes pour garantir précision et répétabilité. Il combine un étage d'ultra-précision, une tête de mesure à balayage rapide et une puissante plate-forme logicielle pour assurer une détection des plaquettes de haute précision et efficace. TOKYO ELECTRON P8-XL propose une large gamme de tailles de plaquettes compatibles avec diverses méthodes de balayage sans contact et sans contact, y compris la triangulation laser, le balayage optique à base de lumière et l'imagerie capacitive. Le système est équipé de diverses sondes intégrées, qui lui permettent d'effectuer une large gamme de tests de basse fréquence à haute fréquence. Il supporte également des fonctions avancées telles que les capacités de manutention humide, sèche et liquide, et fournit des fonctionnalités de contrôle de processus et d'automatisation. TEL P-8 XL est un prober très fiable et efficace. Il dispose d'un système d'automatisation et de commande de mouvement innovant et facile à utiliser pour garantir la répétabilité et la précision. Sa conception avancée assure un faible bruit, un balayage à grande vitesse avec une large gamme dynamique, tandis que son étage précis fournit un contrôle de haute précision avec une grande zone de mesure active. Le bras robot utilise des algorithmes de contrôle sophistiqués pour ajuster sa position en fonction des caractéristiques topographiques de l'échantillon. La contrôlabilité et la répétabilité du microscope à balayage permettent l'acquisition de données précises et à haut débit. De plus, TEL fournit une interface logicielle pour combiner les différentes sondes et systèmes de P-8XL, qui permettent à l'utilisateur d'interagir avec le prober à distance. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON P-8 XL est un prober fiable et économique conçu pour effectuer des sondages sur une variété de matériaux plats. Sa combinaison d'une grande précision, répétabilité et fonctionnement automatisé en fait un choix idéal pour les semi-conducteurs et d'autres applications liées à l'industrie. Son système d'automatisation convivial, son contrôle de mouvement sophistiqué et son interface logicielle en font un choix attrayant pour n'importe quel laboratoire.
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