Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Precio #293778644 à vendre en France
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ID: 293778644
Probers
Interface: V93K DD
Wafer loader, 12"
Hot and cold chuck temperature: -55 -150°C
WAPP
Flip SACC
OCR.
TEL/TOKYO ELECTRON Precio est un microscope électronique à balayage à double faisceau (SEM) largement utilisé dans les laboratoires de recherche et de production. Il permet d'étudier les propriétés électriques et géométriques d'une grande variété de matériaux et d'appareils. Le prober combine une source d'électrons haute tension, un détecteur d'électrons secondaire, et un étage de balayage, chacun pour être adapté à l'application particulière. Cela permet une flexibilité dans les dispositifs de sondes avec des propriétés électriques ou mécaniques. La source d'électrons fonctionne dans un vide ultrapuissant pour optimiser les performances du faisceau d'électrons. Il peut utiliser soit un canon à électrons traditionnel, soit une source d'émission de champ. La source peut être exploitée à haute énergie électronique jusqu'à 15 keV pour l'étude de couches de matériaux épaisses ou jusqu'à 30 à 150 keV pour l'étude de structures plus profondes. Le détecteur d'électrons secondaire du prober est utilisé pour déterminer la topologie de l'objet ainsi que pour obtenir des images et analyser des données de composition. Le détecteur a une sensibilité de 0,1-100 électrons Volts (eV) et peut être utilisé pour l'imagerie haute résolution des échantillons. La résolution énergétique du détecteur est également très élevée, allant jusqu'à 0,5 eV. L'étape de balayage du prober consiste en un système de mouvement à cinq axes, permettant de déplacer l'échantillon dans les directions X, Y, Z, Pan et Tilt sous contrôle informatique. Ceci permet au prober de mesurer la résistance de contact en différents points de l'échantillon. Le probère est capable d'effectuer un certain nombre de mesures dont courant-tension, capacité-tension, transconductance et résistance. Ces mesures sont utilisées pour stocker des données et fournir un aperçu des propriétés de l'échantillon. Elle permet également l'étude de structures minces et fragiles telles que celles que l'on trouve dans les dispositifs semi-conducteurs. TEL Precio est un prober polyvalent, conçu pour fournir des mesures précises et rapides pour une gamme de matériaux et d'appareils. Il a été utilisé pour l'imagerie et les mesures électriques dans de nombreux laboratoires de recherche et de production, et est largement considéré comme l'un des plus polyvalents détecteurs disponibles.
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