Occasion BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 #9129480 à vendre en France

BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5
Fabricant
BOC EDWARDS
Modèle
iH1800 NRV MK5
ID: 9129480
Vacuum pumps.
BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 est une pompe de dépôt robuste et fiable conçue et fabriquée par BOC EDWARDS. Avec sa technologie innovante, il offre une conformité constante et un profil d'épaisseur de couche fiable. Il est spécialement conçu pour des applications et des procédés exigeants, que ce soit pour les polymères, les métaux ou les diélectriques. Pour commencer, cette pompe dispose d'un VNR auto-rechargeable intégré et automatisé (vanne de résistance négative) qui permet de régler automatiquement les vitesses, les pressions et la réduction de brouillard. Ceci permet un contrôle précis des paramètres du processus avec une intervention minimale de l'opérateur tout en minimisant les pertes dues aux effets de la pression atmosphérique. Le système NRV est conçu pour une couverture uniforme et cohérente des couches malgré les fluctuations des conditions de processus. La pompe iH1800 comprend également un avant-poste mécanique à vide direct. Cela permet un temps d'arrêt relativement rapide de la pompe, tout en assurant une prise d'air propre pour le processus en amont. Le forepump mécanique est classé à 25 Pa et peut être équipé d'une soufflante centrifuge si désiré. Il est capable d'accueillir un large éventail d'espèces gazeuses différentes selon l'application. En outre, iH1800 NRV MK5 offre le meilleur contrôle du vide de classe afin que les processus puissent être répétables, indépendamment de la pression atmosphérique et de la présence d'humidité ou d'autres espèces condensables. Cela est obtenu grâce à la technologie des vannes de grille à assistance électrique anisotrope (VSEA). Il est capable de 5 millions d'opérations à fermeture ouverte avec une durée de vie améliorée par rapport aux vannes de grille traditionnelles. Enfin, cette pompe est conçue et certifiée avec sécurité et fiabilité à l'esprit. Il est composé de matériaux de haute qualité qui fournissent la durabilité et la résistance à la corrosion. Les internes peuvent être facilement assemblés et démontés et ont des exigences de faible entretien. Il dispose d'un système électronique hybride très fiable, qui aide à éliminer les temps d'arrêt opérationnel en raison de pannes de pompe. En conclusion, la pompe BOC EDWARDS iH1800 NRV MK5 est une technologie de pompage efficace et fiable pour des processus ALD exigeants.
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