Occasion CANON / ANELVA P-082C #9355379 à vendre en France
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ID: 9355379
Cryo pumps
Pumping speed (L/s):
Nitrogen: 1500
Argon: 1300
Hydrogen: 1000
Water: 4000
Maximum pumping flow (Pa-m³): 1.5
Maximum gas instantaneous tolerance (Pa-m³): 18.0
Startup time: 45 min
Regeneration time (Heat-up): 30 min
Startup regeneration time: 75+α
Pumping capacity (Pa-m³):
Argon: 150000
Hydrogen: 1300.
La pompe CANON/ANELVA P-082C est une pompe rotative robuste et précise conçue pour être utilisée dans les équipements de traitement des semi-conducteurs. Il est capable d'écouler jusqu'à 1 970 litres standard par heure (SLPH) et offre un contrôle des vibrations supérieur pour un fonctionnement plus fiable. CANON P-082C utilise une conception d'aube rotative hydraulique fiable et robuste qui permet une livraison efficace des gaz et des liquides. De plus, la conception équilibrée du rotor de l'aube rotative contribue à réduire le niveau de vibration et le bruit généré par la pompe. ANELVA P-082C est également équipé d'une position d'arrêt réglable et d'un contrôle de vitesse pour un fonctionnement efficace de la pompe et un contrôle précis des gaz et liquides de traitement. La construction de base de P-082C est en alliage d'aluminium traité ESR et est conçu pour la résistance aux chocs et aux vibrations, la conductivité thermique et la résistance élevée. CANON/ANELVA P-082C est scellé à l'aide d'un palier lubrifié à l'huile autonome et d'un joint à huile à ressort entre le corps de pompe et la turbine. Cela permet de minimiser la perte de chaleur, le bruit et l'usure de l'arbre. CANON P-082C dispose également d'un système de soupape de sécurité et d'un régulateur de pression réglable conçu pour protéger la pompe contre la surpression et le ruissellement thermique. De plus, ANELVA P-082C dispose d'un interrupteur de pression différentielle en option pour la surveillance de la pression du processus. P-082C est également très efficace et fiable, avec une plage de température de fonctionnement de -40 ° C à + 40 ° C De plus, CANON/ANELVA P-082C offre un câble étanche qui peut être inséré directement dans les tuyaux en silicone, protégeant la pompe de l'influence de la corrosion du procédé. La pompe est conçue pour un faible entretien, avec un couvercle monobloc et une cartouche filtrante facile à remplacer pour assurer une utilisation continue. Dans l'ensemble, la pompe CANON P-082C est une pompe à aubes rotatives avancée conçue pour une performance et une fiabilité maximales dans des applications de haute précision. La construction robuste et résistante aux vibrations, le palier autonome lubrifié à l'huile, le régulateur de pression réglable, le câble étanche et la cartouche de filtre facile à remplacer rendent ANELVA P-082C idéal pour le traitement des semi-conducteurs et d'autres applications de haute précision.
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